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더 스마트한 분석
오늘날의 반도체 산업에서 가스 불순물은 장치 성능 저하, 생산 지연, 수익 손실을 초래할 수 있습니다. APIX δQ 및 APIX Quattro 가스 분석기를 사용하면 다른 기술에 비해 더 정확한 분석과 더 낮은 검출 한계로 벌크 가스를 지속적으로 측정할 수 있습니다. API-MS, 첨단 전자기기, 당사의 전문 지식이 뒷받침된 강력한 소프트웨어 덕분에, 이제 웨이퍼 생산을 보호하고 막대한 비용을 피할 수 있는 스마트한 품질 관리 솔루션을 갖추게 되었습니다.
이점:
- 온라인 품질 관리를 위한 믿을 수 있는 완전 자동화 시스템
- <10 ppt의 낮은 검출 기능과 우수한 감도로 가장 엄격한 품질 요구 사항에 적합한 가스 분석 제공
- 자동 전환 및 보정
- 신속한 온라인 측정으로 가스 공급 장애 상황에 즉각적인 대응 가능
- 플랜트 제어와 통합을 위한 업계 표준 통신 프로토콜
제품
APIX/APIMS δQ and APIX/APIMS Quattro 고순도(UHP) 전자 가스 분석기
이 가스 분석기는 기존의 품질 관리 기법에 대한 비용 효율적인 대안을 제공하여 각 벌크 가스를 다양한 잠재적 오염물질에 대해 모니터링할 수 있게 하고, 다른 기술보다 검출 한계가 더 낮습니다(최대 100배 더 우수).
동영상
더 높은 수율을 위한 초고순도 가스: 반도체 제조용 가스 분석
이 웨비나에서는 가스 분석기에 투자함으로써 비용이 많이 드는 결함을 방지하여 시간, 수익 및 고객 경험을 어떻게 극대화할 수 있는지 설명합니다. 최첨단 반도체 생산 공정에서도 칩은 여전히 불순물에 취약하여 결함을 야기하고 업계에 수십억 달러의 비용을 초래하며 개인용 컴퓨팅, 자동차, 국방 등의 최종 시장에서 큰 불만을 초래합니다.
교육 & 지원
반도체 산업에서 초고순도 가스 분석기를 사용해야 하는 5가지 이유
제품 사양: APIX δQ 및 APIX Quattro
인포그래픽: ppt 시각화 - 반도체 공정 가스 불순물의 발견
애플리케이션 노트: APIX δQ 및 APIX Quattro 공정 질량분석기
GasWorks 공정 MS 소프트웨어
Thermo Scientific GasWorks 공정 MS 소프트웨어는 Prima PRO, Prima BT, Sentinel PRO, APIX δQ 질량분석기를 위한 특별하고 강력한 인터페이스를 제공합니다. 이 소프트웨어는 질량분석기에 대한 이전의 경험 없이도 더 나은 공정 분석을 위해 공정 분석기를 간단하게 구성, 운영, 유지할 수 있도록 설계되었습니다.
이 제품군에는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 제조 공정 실패 시에 간단한 경보 표시가 필요하든, 공정 이해 및 제어를 위한 복잡한 데이터 표시가 요구되든, Gasworks 소프트웨어는 효과적인 솔루션을 제공할 준비가 되어 있습니다.
- 독립형(stand-alone) 분석기 운영을 지원합니다.
- 시료 스트림 수 또는 분석 방법에 대한 제한을 설정하지 않습니다.
- 복잡한 혼합물을 분리하기 위한 엄격한 수학 방정식을 포함합니다.
- 만료되는 비밀번호와 감사 추적 기능을 사용하여 다층의 보안성을 제공합니다.
- 제 3자 분석 데이터 통합을 지원합니다.
공정 질량분석기를 쉽게 구성, 운영, 유지하기 위한 GasWorks 공정 분석 소프트웨어의 주요 기능 및 특징을 확인해보세요.
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Style Sheet for Global Design System