Glimmentladungs-Massenspektrometrie (GD-MS)

Direkte Analyse von Spurenelementen in hochreinen Leitermaterialien

Das Thermo Scientific Element GD Plus GD-MS-System verfügt über eine schnelle Ionenquelle zur Glimmentladung in einem hochauflösenden Massenspektrometer und ermöglicht eine umfassende Materialcharakterisierung, vor allem für die Metallurgie. Das macht es zum idealen Werkzeug für die direkte Analyse hochreiner Leiter- und Halbleitermaterialien: fast alle in einer Feststoffprobe vorhandenen Elemente im ppb-Bereich und darunter können erkannt und routinemäßig quantifiziert werden.

Ausgewählte GD-MS-Kategorien