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優れたSEMイメージング
Thermo Scientific Apreo ChemiSEMシステムは、複数のインカラム検出器による同時画像取得により、材料の微細構造の特長を瞬時に捉えることができます。異なる情報を一元的に観察できることによって、これまでよりも多角的な検討と考察が可能になり、これまでよりも詳細な微細構造評価が可能になります。
トリニティー検出システムで特性評価されたバイオメディカル用アルミナ像。インカラム検出器によってさまざまな深度の情報を収集できるため、穴の内部の可視化が可能です。
加速電圧を低く抑えることが可能なため、詳細な形状を確認できます。左：リン酸コバルト粒子。右：マグネシア粒子。加速電圧500 V、ビーム電流はそれぞれ6.3 pAと25 pA。
最適化された分析ソリューション
Thermo Scientific ChemiSEMテクノロジーによって、イメージングと組成分析が一元化され、シームレスな微細構造評価が可能になります。高速直接電子検出が可能なTruePix電子後方散乱回折（EBSD）検出器は、卓越した低ビームエネルギー性能と単電子カウントを実現します。
TruePix検出器による変形高エントロピー合金の測定結果。上段：IPF（X、Y、Z）方位マップ。下段： グレインサイズマップとオイラーマップ、カーネルベース方位差マップ。
組成分析および相分布評価のワークフロー
改良された評価手法が採用されたApreo ChemiSEMシステムは、サンプルの形態から組成分析と相分布マッピングの解明までをサポートします。また、使いやすい解析ソフトウエアは、データ取得時間の短縮だけでなく信頼できるデータ取得もサポートします。
イメージング（SEM）、元素分析（EDS）、および構造評価（EBSD）
ワークフローのオートメンション化
高度なデジタルエンハンスメントと精密な検出器モデルを使用する新しいスマートフレームインテグレーション（SFI）は、高速で信頼性の高い自動機能と組み合わせることで、ユーザーエクスペリエンスを向上させ、イメージングワークフローをさらに簡素化します。
ワークフローのオートメーション化によって、日々のアライメントは不要となります。また、オペレーターの技量に関係なく、すべてのユーザーが同様の結果を取得できます。ワークフローのオートメーション化によって測定時間を解析時間に割り振ることが可能となり、作業効率の向上が期待できます。
左：SFI未使用で取得したマグネシア粒子像。下：SFIを使用したノイズ低減処理後の像。加速電圧：1 keV。ビーム電流：50 pA。T1検出器使用。
耐久性と信頼性
厳しい設置環境にも耐えうるように設計されたシステムは、メンテナンスサイクルのスパンを長くできます。また、装置の長寿命化やソフトウェアの自動更新など、長期間の安定運用をサポートします。
技術仕様
| Apreo ChemiSEMシステム | Apreo ChemiSEM Sシステム | |
| 高真空 | ||
| 30 kV（S/TEM） | 0.7 nm | 0.7 nm |
| 15 kV（BD） | 0.9 nm | 0.5 nm |
| 15 kV（6.4 nA、WD 10 mm） | - | 1.9 nm |
| 1 kV | 1.2 nm | 0.9 nm |
| 1 kV（BD） | 1.0 nm | 0.8 nm |
| 1 kV（BD、WD 10 mm） | - | 1.0 nm |
| 低真空 | ||
| 3 kV（80 Pa） | 1.8 nm | 1.8 nm |
| 15 kV（80 Pa） | 1.2 nm | 1.2 nm |
BD：ビーム減速モード。
WD：作動距離特記されていない限り、分解能は最適な作動距離の時のものです。分解能試験は、高真空下で1 kVおよび30 kV、ならびにイマージョンスイッチがオンの状態で実施します。
検出器
- Trinity検出システム（インレンズおよびインカラム）
- T1：下部インレンズ下部に配置した分割型検出器
- T2：上部インレンズ検出器
- T3：インカラム検出器（オプション）
- ETD：Everhart-Thornley SE検出器
- DBS：リトラクタブルレンズ直下分割型BSED（オプション）
- 低真空SE検出器（オプション）
- DBS-GAD：レンズ搭載式雰囲気制御分析BSED（オプション）？
- STEM 3+リトラクタブル分割型検出器（BF、DF、HADF、HAADF）（オプション）
- IR-CCD
- Thermo Scientific Nav-Cam™カメラ（チャンバー搭載）
ChemiSEMテクノロジー
- TrueSightおよびTrueSight Pro；検出器のサイズ：25または70 mm
- 分解能：10,000 cpsで最大125 eV Mn Κα
- 安全な操作のための、シャッターで完全に自動化された検出器挿入と排出
- 最大の立体角とスループットを実現する「スーパーインサート」
- 検出範囲：Be-Am
- 感度：シリコン（Si Lα）
TruePix検出器
- Timepix技術に基づいたハイブリッドピクセル直接電子検出EBSDシステム
- ゼロ読み出しノイズ、高い信号対バックグラウンド比
- レンズ／光ファイバーカップリングまたは蛍光体により歪みはゼロ
- シングル電子カウンティング
- 感度：4 keVまで
- スループット：最大2000 FPS
- Niでの感度：3000 pps/nA相当
- Thermo Scientific XTAL Viewソフトウエア：オンライン/オフライン
- シームレスなワークフロー（SEM、EDS、EBSD）
システム、サンプルホルダー、チャンバー
- 加速電圧範囲：20 eV～30 keV
- ステージバイアスによるビーム減速：4,000 V～+600 V
- 低真空モード：10～500 Pa（オプション）
- ステージ：ユーセントリックゴニオメーターステージ、5軸、電動；XY移動範囲110 x 110 mm、傾斜–15° / +90°；傾斜0°で最大試料重量5 kg
- ビーム電流範囲：1 pA～50 nA（400 nA構成も可能）
- 試料ホルダーステージに直接取り付け可能な標準的な多目的ホルダー、最大18個の標準スタブ（直径12 mm）、3個の傾斜スタブ、断面試料、オプションの2個の傾斜ローバーホルダー（38°および90°）、取り付け工具不要
- チャンバー：内幅340 mm、12ポート、ステージの傾斜軸に直交する同一平面上のEDS/EBSD
For Research Use Only. Not for use in diagnostic procedures.