Iliad (S)TEMの特長

EELS光学系では、顕微鏡と分光器の両方において、試料から検出器まで、幅広い電子エネルギーを同時に伝達し、色収差や収差を発生させずに検出するという課題があります。これは、特に顕微鏡と分光計が別々である場合、各装置および各装置間での調整が必要となり、容易な作業ではありません。

顕微鏡と分光器の光学系を密接に統合し、顕微鏡の色収差の影響を除いてスペクトルの焦点を分光器検出面に一致させることによってのみ実現できます。このような状況を私たちはカメラ長やdispersion、エネルギーオフセットを変更しても達成できるシステムを開発し、さらに改良された分光プリズムや10個の多極子によって、より優れたEELSスペクトルを取得できるようなシステムを作り上げました。当社のEELS分光器およびエネルギーフィルターは、改良された光学系と高い安定性の相乗効果によりTEM光学系との一体化に成功し、より優れたEELSデータ収集を可能にしました。

ビームブランカーは、電子線量を最適化するために電子顕微鏡で使用されます。電子ビームを効果的に高周波数でブロックまたはブランキングすることにより、電子ビームのオン・オフを繰り返します。TEMでは通常、ミリ秒単位の応答時間しか持たず、静電偏向器ほど再現性が高くない磁場偏向器が使用されます。静電ビームブランカーであるNanopulserは、試料に照射される電子線量を正確に時間制御することができ、ドーズ量量最適化研究などの幅広い用途に対応します。 

（左）従来のSTEM設定（ブランキングなし）と、（右）ブランキングありのビームを使用した試料上での電子ビームスキャン模式図。ビームブランカーがオンの時、ビームの50%はブランキングされ、フライバック（次のラインに移る際のビーム）は完全にブランキングされます。

透過型電子顕微鏡用の最先端のThermo Scientific Veloxソフトウェアは、実験を包括的にコントロールできます。このソフトウェアはTEMおよびSTEMの光学系および検出器へのアクセスを容易にし、再現性と生産性を向上させ、TEMおよびSTEMの定量的な微細構造評価をサポートします。

Veloxソフトウェアは、統合された人間工学に基づくユーザーインターフェースと使いやすさで定評があり、高品質のイメージングや組成分析などを一元管理することができます。またSmartCam（蛍光板と同等のカメラ）もVelox上使用でき、実験のセットアップも効率的に行えます。さらに、視覚的に装置の状況を把握し直接操作することができる検出器レイアウトインターフェースを備えており、複数の検出器を用いた実験であっても、混乱することはありません。Veloxソフトウェア上で、DPC/iDPCといった特殊な観察手法も実行できるうえに、in-situ観察などでの動画取得においてもスムーズに対応することができます。

Veloxソフトウェアは、Thermo Scientific EDS検出器での電子エネルギー損失分光法とエネルギー分散型X線分光法用のパッケージを装備しています。この堅牢なマッピングエンジンは透過型電子顕微鏡用に最適化された複数の技術を統合し、クラス最高レベルのスペクトル画像を高スループットで取得します。また、このソフトウェアは、EELSおよびEDSデータの取得中のライブフィードバックと高速な後処理も提供します。

Veloxソフトウェアはこのような化学分析だけではなく、S/TEM観察における装置制御や品質向上、汎用性を一元的に管理できる強力なソフトウェアで、微細構造評価を効率的に行うことができます。