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原子スケールの構造情報が必要な研究において、ナノレベルでの構造変化の動的in situ観察は非常に重要です。Thermo Scientific Themis ETEMは、従来のTEM/STEMと専用の環境制御型TEM機能を組み合わせることで、実績のあるTitan環境制御型透過電子顕微鏡（ETEM）設計となっており、ナノマテリアルの動的挙動の時間分解されたin situの研究が可能です。Themis ETEMは、ナノ構造体をガス反応・動作環境に曝すなど、in situ実験向けに完全に統合されたシステムとして設計されています。
Themis ETEMで研究を促進
Themis ETEMは、Thermo Scientific Themis Z S/TEMの機能も備えています：
- NanoEx-i/v加熱ステージにより、あらゆるガス環境下での試料温度の正確な測定および制御が可能です。
- ピエゾステージを使用することで、試料の安定した微動、ナビゲーション、およびXYおよびZの試料ドリフト補正機能が向上します。
- Thermo Scientific Ceta 16Mカメラの高速観察、高感度、高ダイナミックレンジと広い視野の組み合わせにより、優れた高品質イメージング機能や動画取得機能、試料ナビゲーション機能を実現します。
- 64ビットOSを使用して、大規模のデータ処理も可能です。
自動化と簡単操作
すべての操作パラメーターをソフトウェアで制御可能で、初心者から上級者まで幅広いユーザーに対応します。
ウィンドウレスのイメージング
革新的な差動排気対物レンズ設計を使用しています。
真空システムの正確な制御
さまざまな真空モード間の高速切り替え機能。
ガス組成の正確な測定
質量分析計（RGA）による反応ガス分析システムを内蔵。
一体型プラズマクリーナーによる簡便な除染
とガスの迅速な除去が可能。
電子銃の保護
ガス実験中も高い真空状態を維持。
精密な電子線量制御
容易なガンレンズおよびコンデンサレンズの設定変更。
簡単な試料ハンドリング
革新的な差動排気システムを持つ試料室、2軸傾斜ホルダーを含むさまざまなTEMホルダーを使用可能。
安全操作モード
ガスを使用する時の安全なガス扱い規則に準拠しています。
Style Sheet for Products Table Specifications
| 標準モード | ETEMモード（<50 Pa窒素） | |||
| 収差補正なし | TEM Cs収差補正器 | 収差補正なし | TEM Cs収差補正器 | |
| TEM情報限界（nm） | 0.10 | 0.10（0.09モノクロメーターを使用） | 0.12 | 0.12 |
| TEM点分解能（nm） | 0.20 | 0.10 | 0.20 | 0.12 |
| 幅1 nmのプローブ電流@(nA※） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 幅1 nmのプローブ電流@(nA※） | 0.7 eV | 0.7 eV | 0.8 eV | 0.8 eV |
| STEM分解能（nm） | 0.136 | 0.136 | 0.16 | 0.16 |
注：すべての仕様は300 kVでの値です。
※SFEG電子銃の場合。また、ETEMは、オプションでX-FEGとモノクロメーターを使用することもできます。エネルギーフィルターオプションによっては、エネルギー分解能は0.20 eV（ETEMモードでは0.25 eV）になります。
Style Sheet for Media Tabs
Dynamic ETEM study (2.0 mbar O2, 475°C) of soot oxidization near the soot-CeO2 interface. Soot particles observed to move with constant velocity towards CeO2. Image courtesy of S. Simonsen and S. Helveg (HTAS), as seen in S.B. Simonsen, et al., J. Catal. 225 (1), 2008.
Thermo Scientific ETEMソリューションをご紹介します。
Thermo Scientific ETEM は、反応性ガス環境や高温への曝露時のナノマテリアルの挙動を時間分解して研究するための、専用の原子分解能走査／透過型電子顕微鏡（S/TEM）ソリューションです。in-situでの動的な触媒反応実験用に設計されています。
竹田精治教授（大阪大学）が、材料科学研究の定量的in situ顕微鏡のために、Thermo Scientific ETEMソリューションの価値について説明します。
吉田秀人博士（大阪大学）が、Thermo Scientific ETEMソリューションの使いやすさについて、またご自身の材料研究でより詳細な原子構造情報を得られた事例を説明します。
材料科学研究のThemis ETEMの論文
Dynamic ETEM study (2.0 mbar O2, 475°C) of soot oxidization near the soot-CeO2 interface. Soot particles observed to move with constant velocity towards CeO2. Image courtesy of S. Simonsen and S. Helveg (HTAS), as seen in S.B. Simonsen, et al., J. Catal. 225 (1), 2008.
Thermo Scientific ETEMソリューションをご紹介します。
Thermo Scientific ETEM は、反応性ガス環境や高温への曝露時のナノマテリアルの挙動を時間分解して研究するための、専用の原子分解能走査／透過型電子顕微鏡（S/TEM）ソリューションです。in-situでの動的な触媒反応実験用に設計されています。
竹田精治教授（大阪大学）が、材料科学研究の定量的in situ顕微鏡のために、Thermo Scientific ETEMソリューションの価値について説明します。
吉田秀人博士（大阪大学）が、Thermo Scientific ETEMソリューションの使いやすさについて、またご自身の材料研究でより詳細な原子構造情報を得られた事例を説明します。
材料科学研究のThemis ETEMの論文
電子顕微鏡を使用したプロセス制御
近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
材料科学向けの
電子顕微鏡サービス
最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards