Patrones de tamaño de partículas SURF-CAL™
Thermo Scientific™

Patrones de tamaño de partículas SURF-CAL™

Simplifique la preparación de obleas de calibración mediante estos patrones de tamaño de partículas.
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Número de catálogoDiámetro (métrico)Concentración
PD-2150,220 μm3 x 108 partículas/ml
PD-0470,047 μm3 x 108 partículas/ml
PD-047B0,047 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-0640,064 μm3 x 108 partículas/ml
PD-064B0,064 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-0830,083 μm3 x 108 partículas/ml
PD-083B0,083 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-0920,092 μm3 x 108 partículas/ml
PD-092B0,092 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-1000,100 μm3 x 108 partículas/ml
PD-100B0,100 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD11001,112 μm3 x 108 partículas/ml
PD1100B1,112 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-1250,126 μm3 x 108 partículas/mL
PD-125B0,126 μm1 x 10¹° partículas/mL
PD-1550,155 μm3 x 108 partículas/ml
PD-155B0,155 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD16001,59 μm3 x 108 partículas/ml
PD-2000,202 μm3 x 108 partículas/ml
PD20002,01 μm3 x 108 partículas/ml
PD-200B0,202 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-2040,204 μm3 x 108 partículas/ml
PD-204B0,204 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-215B0,220 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD30003,04 μm3 x 108 partículas/ml
PD-3050,304 μm3 x 108 partículas/ml
PD-305B0,304 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-3650,360 μm3 x 108 partículas/ml
PD-365B0,360 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-5000,498 μm3 x 108 partículas/ml
PD-500B0,498 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-8000,809 μm3 x 108 partículas/ml
PD-800B0,809 μm1 x 10¹°partículas/ml
PD-8020,802 μm3 x 108 partículas/ml
PD-802B0,802 μm1 x 10¹°partículas/ml
Número de catálogo PD-215
Precio (USD)
-
Diámetro (métrico):
0,220 μm
Concentración:
3 x 108 partículas/ml
Simplify the preparation of calibration wafers with Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Particle Size Standards, for calibration and maintenance of Scanning Surface Inspection Systems (SSIS). Available particle sizes correspond to the calibration point sizes required by instrument manufacturers.
Thermo Fisher Scientific™, junto con el sector de los semiconductores y la SEMI, ha establecido tamaños de partículas específicos para la calibración de sistemas de inspección de superficies de barrido. En colaboración con los fabricantes de instrumentos, hemos creado la línea de productos SURF-CAL™ para cumplir las directrices de la SEMI en materia de patrones.
  • Se considera que los tamaños disponibles son nodos de determinación del tamaño críticos tal como lo define la International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS).
  • A través del depósito de esferas de poliestireno-látex (PSL) SURF-CAL™ trazables al NIST™ en obleas especialmente seleccionadas, puede efectuar comprobaciones periódicas de la calibración y comparar su escáner con escáneres de otros lugares.
  • También puede evaluar el rendimiento de su SSIS en etapas críticas del proceso de fabricación.
  • Todos los productos están suspendidos en agua desionizada y filtrada en frascos de 50 ml con una concentración de 3 × 108 partículas por ml.

Nota:

Los productos PD1100 y más pequeños también están disponibles con una concentración de 1010 partículas por ml para aplicaciones en las que se emplee la ayuda de un analizador de movilidad diferencial (DMA) u otra técnica de exclusión por tamaño.

Especificaciones
AditivoNinguno
Concentración3 x 108 partículas/ml
ContenidoMicroesferas de poliestireno en agua filtrada desionizada
DescripciónPartículas para calibración y mantenimiento de sistemas de inspección de superficie de barrido (SSIS)
IncluyeCertificado de calibración y trazabilidad al NIST
Densidad de las partículas1,05 g/cm³
Cantidad50 mL
Índice de refracción1,59 a 589 nm (25 °C)
Distribución de tamaño0.003µm
EstabilidadProducto estable durante un mínimo de 12 meses
ColorBlanco o incoloro
Diámetro (métrico)0,220 μm
Para utilizar con (aplicación)Calibración y mantenimiento del SSIS
MaterialPoliestireno
Tipo de productoPatrón de tamaño de partículas
Unit SizeEach
Contenido y almacenamiento
A menos que se indique lo contrario, refrigere el producto (entre 2 y 8 °C) cuando no esté en uso, pero no lo congele. Guarde el producto en posición vertical con el frasco bien cerrado. Mezcle el producto mediante una inversión suave manualmente o con una mezcladora vorticial.