iCAP™ TQ ICP-MS

삼중 사중극자 기술을 적용한 Thermo Scientific™ iCAP™ TQ ICP-MS는 반도체 산업과 관련된 다양하고 까다로운 시료 내 미량 원소의 초미량 정량화를 위한 고성능 ICP-MS입니다. 높은 감도를 제공하고 사용이 간편한 실험대용 기기로서 검출 성능을 저하시키지 않고 삼중 사중극자 기술의 탁월한 간섭 제거 기능을 활용할 수 있습니다.

Thermo Scientific™ Qtegra™ Intelligent Scientific Data Solution™(ISDS) 소프트웨어를 사용하여 작업자가 삼중 사중극자 ICP-MS로 신속하게 전환이 가능하며 이를 통해 초미량 분석의 장점을 경험하고 실험실의 application 포트폴리오를 확장할 수 있습니다.

Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS는 가장 까다로운 시료에서도 불순물 원소 검출 기능을 개선하여 탁월한 간섭 제거 기능을 제공합니다. 작은 공간만을 차지하고 간소화된 워크플로와 자동화된 메서드(Method) 개발을 통해 사용이 간편한 iCAP TQ ICP-MS는 현장(at-line) 품질 관리를 위한 이상적인 검사 도구로서 중요한 제조 공정의 일관성을 유지하고 반도체 웨이퍼 제조 수율을 개선하는 데 필수적입니다.

iCAP TQ ICP-MS는 삼중 사중극자 ICP-MS의 성능과 사용의 편리함을 통해 검출의 한계를 뛰어넘을 수 있습니다.

• 개선된 간섭 제거와 정확한 최초 분석 결과를 제공하는 강력한 삼중 사중극자 기술.
• 까다로운 시료에서도 초미량 검출 가능.
• 독자적인 반응 검색 메서드(Method) 개발 지원 기능으로 설정이 빠르고 간편함.
• 통합 반응 가스 처리 기능을 통한 신뢰성 있는 기기 작동.
• 클린룸 환경을 위한 건식 전방 진공 펌프.