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Semiconductor Analysis
Semiconductor Nanoprobing
Nanoprobing to measure electrical characteristics, localize and isolate defects in semiconductor devices.
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A major, ongoing challenge of the tech industry is the shrinking of semiconductor devices and transistor feature dimensions. To maintain excellent reliability, performance, and yield, semiconductor failure analysis techniques have to constantly improve in order to meet this challenge. As a result, high-end, advanced instrumentation is needed to localize and identify defective structures, which have more places to hide due to high-density interconnects, wafer-level stacking, and complex 3D architectures.
Nanoprobing is an advanced characterization technique designed to isolate electrical defects that can negatively influence yield, reliability, and performance. Nanoprobing also provides the precise localization of electrical faults, which is necessary for an effective transmission electron microscopy (TEM) failure analysis workflow.
Thermo Fisher Scientific provides a range of advanced nanoprobing and sample preparation tools for reliable and accurate electrical fault isolation on a wide range of advanced devices. The Thermo Scientific nProber IV System is a high-performance scanning-electron-microscopy-based platform for the localization of transistor and metallization faults. The Thermo Scientific Hyperion II System is a high-productivity atomic-force-profiling nanoprober, with leading-edge transistor-probing performance that includes integrated conductive atomic force microscopy (C-AFM) capability. See the product pages below for more information.
Semiconductor nanoprobing workflow example
The nProber IV System provides leading edge performance for the localization of transistor and metallization faults.
The Thermo Scientific Hyperion II System offers fast, accurate transistor probing for electrical characterization and fault localization.
Critical Semiconductor Nanoprobing Workflows Explained
The nProber IV System provides leading edge performance for the localization of transistor and metallization faults.
The Thermo Scientific Hyperion II System offers fast, accurate transistor probing for electrical characterization and fault localization.
Critical Semiconductor Nanoprobing Workflows Explained
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