The Thermo Scientific Meridian S System is designed to perform inverted photon emission (EMMI) and laser scanning microscopy analysis on devices stimulated by static bias via probe card or micro-probes. With the overall cost of ownership for the system being a critical aspect of profitability, the Meridian S System offers a range of photon emission options, dual-side probing flexibility and an upgrade path to dynamic optical fault isolation capabilities such as laser voltage imaging/probing and soft defect localization.

The Meridian S System is designed for use in failure analysis labs worldwide, aiding in:

  • Identification of systematic process, design or integration issues
  • Isolation of root cause for random electrical failures

Key Features

Fault Diagnostic with Active Probe Technology

High-sensitivity, lock-in capable, noise-eliminating static laser stimulation/optical beam induced resistance change (SLS/OBIRCH) detection enabled by Fault Diagnostic with Active Probe Technology.

Photon emission

Photon emission options spanning a range of sensitivity requirements for isolating shorts, detecting areas of excess leakage, and mapping active regions.

Ease-of use

Probing setup and software designed for ease-of-use and productivity.

Scalable and upgradable

Fully scalable and upgradable optical platform.


Specifications

Hoja de estilo para las especificaciones de la tabla de productos

Inverted optical system

Combo system: LSM + PEM standard, with optional LSM-only or PEM-only configurations

220VAC, 50Hz/60Hz

Standard 9” x 9” load board interface, plus customizable alternatives

Dual-side microprobing and Probe Card configurations available

Stage repeatability ≤2μm

Optional laser marker for defect redetection


Applications

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Desarrollo y trazabilidad de semiconductores

Microscopía electrónica avanzada, haz de iones enfocado y técnicas analíticas asociadas para identificar soluciones viables y métodos de diseño para la fabricación de dispositivos semiconductores de alto rendimiento.

Análisis de fallos de semiconductores

Análisis de fallos de semiconductores

Las estructuras de dispositivos semiconductores cada vez más complejas dan lugar a que existan más ubicaciones en las que se oculten los defectos inducidos por fallos. Nuestros flujos de trabajo de última generación le ayudarán a localizar y caracterizar los sutiles problemas eléctricos que afectan a la producción, al rendimiento y a la fiabilidad.


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Techniques

Aislamiento de fallo óptico

Los diseños cada vez más complejos complican el aislamiento de fallos y defectos en la fabricación de semiconductores. Las técnicas de aislamiento óptico de fallos le permiten analizar el rendimiento de los dispositivos activos eléctricamente para localizar defectos críticos que causan fallos en el dispositivo.

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Aislamiento de fallo óptico

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Servicios de microscopía electrónica para
Semiconductores

Para garantizar un rendimiento óptimo del sistema, le proporcionamos acceso a una red de expertos de primer nivel en servicios de campo, asistencia técnica y piezas de repuesto certificadas.

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