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Semiconductor devices can fail for many reasons, leading to wasted time and increased costs for the manufacturer. Failures can result from excess current or voltage, ionizing radiation, mechanical stress, or large increases in temperature, which are the consequence of an uneven distribution of local power dissipation.

Steady-state and lock-in thermography are techniques that allow you to detect the temperature variations that lead to device failures. Of these methods, lock-in infrared (IR) thermography (LIT) offers much better signal-to-noise ratio, sensitivity, and feature resolution than steady-state thermography. LIT can be used in the failure analysis of semiconductor interconnects to locate line shorts, electrostatic discharge (ESD) defects, oxide damage, defective transistors and diodes, and device latch-ups.

LIT is an increasingly valuable technique for locating thermal faults in a broad range of semiconductor devices. The Thermo Scientific ELITE System is a powerful LIT tool that is particularly useful when combined with the Thermo Scientific Helios PFIB DualBeam for physical analysis, creating a highly efficient workflow. Learn more by exploring the product pages below.

Ohmic short detection, showing wires soldered to a device.
Thermal image produced during ohmic short detection, showing wires soldered to a device.

Lock in thermography workflow example

 

 



Resources

Applications

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반도체 불량 분석

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반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.

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물리적 및 화학적 특성 분석

지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.

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ESD 반도체 적격성 검사

정전기 방출(ESD)에 민감한 소자를 식별하려면 모든 ESD 관리 계획이 필요합니다. 당사는 기기 적격성 요건을 충족할 수 있도록 완벽한 테스트 시스템 제품군을 제공합니다.

전력 반도체 장치 분석

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전력 장치는 주로 전력 장치 아키텍쳐 및 레이아웃의 결과로서 오류를 국지화를 위한 고유한 과제를 제기합니다. 저희의 전력 장치 분석 도구와 워크플로우는 작동 조건에서 오류 위치를 빠르게 찾고 물질 특성 분석, 인터페이스, 장치 구조에 대한 정밀하고 고처리량의 분석을 제공합니다.

디스플레이 모듈 고장 분석

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디스플레이 기술의 진화를 통해 디스플레이 품질 및 광변환 효율성을 개선하여 다양한 산업 부문의 응용분야를 지원하는 동시에 생산 비용을 지속적으로 절감할 수 있습니다. 당사의 공정 계측, 고장 분석, 연구 및 개발 솔루션은 디스플레이 기업의 이러한 문제를 해결하는 데 도움을 줍니다.

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수율 경사 및 계측

당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.


Samples


반도체 물질 및 장치 특성 분석

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Products

기기 카드 원본 스타일시트

Talos F200E TEM

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  • EDS를 통한 정밀하고 고속의 화학적 특성 분석
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ELITE 시스템

  • 완전 비파괴
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Helios 5 PFIB DualBeam

  • 갈륨 없이 STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보
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