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Thermo Scientific™
Étalons de taille de particules SURF-CAL™
Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage grâce à ces étalons de taille de particules.
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| Référence | Diamètre (métrique) | Concentration |
|---|---|---|
| PD-204B | 0,204 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-047 | 0,047 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-047B | 0,047 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-064 | 0,064 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-064B | 0,064 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-083 | 0,083 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-083B | 0,083 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-092 | 0,092 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-092B | 0,092 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-100 | 0,100 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-100B | 0,100 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD1100 | 1,112 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD1100B | 1,112 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-125 | 0,126 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-125B | 0,126 μm | 1 x 10¹° particules/ml |
| PD-155 | 0,155 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-155B | 0,155 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-200 | 0,202 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD2000 | 2,01 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-200B | 0,202 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-204 | 0,204 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-215 | 0,220 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-215B | 0,220 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD3000 | 3,04 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-305 | 0,304 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-305B | 0,304 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-365 | 0,360 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-365B | 0,360 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-500 | 0,498 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-500B | 0,498 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-800 | 0,809 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-800B | 0,809 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
| PD-802 | 0,802 μm | 3 x 108 particules/ml |
| PD-802B | 0,802 μm | 1 x 10¹°particules/ml |
Référence PD-204B
Prix (EUR)
-
Diamètre (métrique):
0,204 μm
Concentration:
1 x 10¹°particules/ml
Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage avec les étalons de tailles de particules Thermo Scientific™ SURF-CAL™, pour l’étalonnage et la maintenance des systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS). Les dimensions de particules disponibles correspondent aux tailles de point d’étalonnage requises par les fabricants d’instruments.
Thermo Fisher Scientific™, en collaboration avec l’industrie des semi-conducteurs et SEMI, a établi des tailles de particules spécifiques à utiliser pour l’étalonnage des systèmes d’inspection de surfaces d’exploration. En collaboration avec les fabricants d’instruments, nous avons créé la gamme de produits SURF-CAL™ pour répondre aux directives de la norme SEMI.
- Les tailles disponibles sont considérées être des nœuds de dimensionnement critiques tels que définis par l’International Technology Roadmap for Semiconductors (IRTS).
- Par le dépôt de sphères en latex de polystyrène conformes aux normes NIST™ SURF-CAL™ (PSL) sur des wafers spécialement sélectionnés, vous pouvez effectuer les vérifications d’étalonnage périodiques et comparer votre scanner avec des scanners situés dans d’autres endroits.
- Vous pouvez également évaluer les performances de vos SSIS à des étapes critiques dans le procédé de fabrication.
- Tous les produits sont conditionnés en suspension dans de l’eau désionisée et filtrée dans des flacons de 50 ml à une concentration de 3 × 108 particules par millilitre.
Remarque :
les produits PD1100 ou plus petits sont également disponibles à des concentrations de 1010 particules par millilitre pour les applications utilisant un analyseur de mobilité différentielle (DMA) ou d’autres techniques d’exclusion stérique.
Spécifications
AdditifNéant
Concentration1 x 10¹°particules/ml
ContenuMicrosphères en polystyrène dans de l’eau déminéralisée et filtrée
DescriptionParticules pour l’étalonnage et la maintenance des Systèmes d’inspection de surface de balayage (SSIS).
ComprendCertificat d’étalonnage et de traçabilité pour le NIST
Densité des particules1,05 g/cm³
Quantité50 ml
Indice de réfractionDe 1,59 à 589 nm (25°C)
Distribution des tailles0,004 µm
StabilitéProduit stable pendant une période minimum de 12 mois
CouleurBlanc ou incolore
Diamètre (métrique)0,204 μm
À utiliser avec (application)Étalonnage et maintenance du SSIS
MatériauPolystyrène
Type de produitParticules d’étalonnage de taille
Unit SizeEach