반도체 나노탐침

기술 업계의 주요 당면 과제는 반도체 소자 및 트랜지스터 형상 치수를 줄이는 것입니다. 우수한 신뢰성, 성능, 수율을 유지하려면 이러한 과제를 해결하기 위해 반도체 불량 분석 기술을 지속적으로 개선해야 합니다. 고밀도 상호 연결, 웨이퍼 수준 적층, 복잡한 3D 아키텍처로 인해 결함이 숨어 있을 곳이 많으므로 결함 위치를 찾고 결함 구조를 확인하기 위해 고급 첨단 장비가 필요합니다.

나노탐침은 수율, 신뢰성, 성능에 부정적인 영향을 줄 수 있는 전기적 결함을 분리하기 위해 설계된 첨단 특성 분석 기술입니다. 또한 나노탐침은 효과적인 투과전자현미경(TEM) 불량 분석 워크플로우에 필요한 전기적 불량의 정확한 위치를 알려줍니다.

Thermo Fisher Scientific은 다양한 첨단 장치에서 신뢰성 있고 정확한 전기적 불량 분리를 위해 다양한 고급 나노탐침과 시료 준비 도구를 제공하고 있습니다. Thermo Scientific nProber IV 시스템은 트랜지스터 및 금속 배선 결함 위치를 파악하기 위한 고성능 주사전자현미경 기반 플랫폼입니다. Thermo Scientific Hyperion II 시스템은 높은 생산성을 가진 원자간력 프로파일링 나노프로버(atomic-force-profiling nanoprober)로서 conductive atomic force microscopy (C-AFM) 기능이 통합된 최첨단 트랜지스터-탐침 성능을 갖추고 있습니다. 자세한 내용은 아래 제품 페이지를 참조하십시오.

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