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Materials characterization

Advanced materials characterization labs require access to the latest techniques and will push analytical tools, including SEMs, to the extremes of their capabilities. Most of these labs are multi-user facilities that accommodate users with varying degrees of experience. Time on the microscope is precious, and excessive time spent on maintenance, alignments, training, or image optimization needs to be avoided.

Apreo 2 Scanning Electron Microscope

The new Thermo Scientific Apreo 2 SEM expands access to high-performance imaging and analytics to all levels of microscopy expertise. With Thermo Scientific ChemiSEM Technology, a unique live elemental imaging capability, compositional information is always available, through the most intuitive interface. Eliminating all the hassle associated with typical EDS implementations, ChemiSEM Technology offers unprecedented time to result and ease of use.

The Apreo 2 SEM poses much smaller demands on users and lab managers with Thermo Scientific SmartAlign Technology, an optics system that aligns itself. Furthermore, the Apreo 2 SEM automates the image fine-tuning process with Thermo Scientific FLASH technology. FLASH Technology executes any necessary corrections to lens centering, the stigmators, and final focus of the image. The combination of these technologies means that users new to electron microscopy can access the high-end performance of the Apreo 2 SEM. Additionally, the Apreo 2 SEM is the only SEM with a 1-nanometer resolution at 10 mm analytical working distance. No longer does long working distance mean poor imaging. With the Apreo 2 SEM, anyone will be able to confidently get great results.

Apreo 2 SEM video teaser

Apreo 2 Scanning Electron Microscope features

High performance, resolution, and contrast

The combination of advanced optics, detection and automation in Apreo 2 makes obtaining high resolution imaging possible even for users new to SEM.

Lithium Ion cathode

Wide range of sample types

Apreo 2 was designed for maximum flexibility. High quality, high resolution imaging is possible regardless of target samples properties. Insulators, beam sensitive or magnetic materials can all be imaged with ease thanks to Apreo 2's unique optics, detection and beam control options.

Live quantitative EDS with ChemiSEM

Elemental information at your fingertips with ChemiSEM, which provides live quantitative elemental mapping for unprecedented time to result and ease of use.

Quick and easy sample loading

Easy access to the stage, a convenient multi-sample holder, and a fast pump down ensures no time is wasted loading samples. An automated routine to insert and remove a pressure limiting aperture (PLA) allows for a seamless switch between high and low vacuum without opening the chamber.

Advanced automation

From optics, to image acquisition, Apreo 2 provides a range of automated features to make imaging time as effective and efficient as possible. Flash Technology automates image fine tuning The unique Undo function permits efficient exploration of imaging conditions Thermo Scientific Maps software automates large area acquisition with up to 4 different simultaneous signals

Performance at long working distance

Apreo 2 is the only SEM that offers high-resolution performance (1nm) and excellent image quality at analytical working distance (10mm). Sample morphology, topography and surface information can all be simultaneously explored while being at a safe distance from the pole piece. Thanks to its high-speed and high-sensitivity in-lens backscattered detector, BSE are still detected even at extremely low beam currents (as low as few pA).


Apreo 2 Scanning Electron Microscope specifications

Formatvorlage für Produkttabellen-Spezifikationen
 

Apreo 2 S

Apreo 2 C

Resolution

  • 0.9 nm at 1 kV
  • 0.8 nm at 1 kV (beam decel.)
  • 1.0 nm at 1 kV, 10 mm working distance (beam decel.)
  • 0.8 nm at 500 V (beam decel.)
  • 1.2 nm at 200 V (beam decel.)
  • 1.2 nm at 1 kV
  • 1.0 nm at 1 kV (beam decel.)
  • 1.2 nm at 500 V (beam decel.)

Standard detectors

  • ETD, T1, T2, T3, IR-CCD, Nav-Cam+
  • ETD, T1, T2, IR-CCD, Nav-Cam+

PivotBeam

  • Mode for selected area electron channeling (also known as "rocking beam" mode).
  • Not applicable

Optional detectors

  • DBS, LVD, DBS-GAD, STEM 3+, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC, etc.

ChemiSEM Technology (optional)

  • Live quantitative SEM image coloring is available based on energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Point & ID, linescan, region, element maps, and reliable Noran quantification are included.

Landing energy range

  • 20 eV – 30 keV

Stage bias (beam deceleration)

  • -4000 V to +600 V standard with every system

Low vacuum mode

  • Optional: 10 – 500 Pa chamber pressure

Stage

  • 5-axis motorized eucentric stage, 110 x 110 mm2 with a 105° tilt range. Maximum sample weight: 5 kg in un-tilted position.

Maximum beam current

  • 50 nA (400 nA configuration also available)

Standard sample holder

  • Multi-purpose holder, uniquely mounts directly onto the stage, hosts up to 18 standard stubs (Ø12 mm), three pre-tilted stubs, cross-section samples and two pre-tilted row-bar holders (38° and 90°) and does not require tools to mount a sample

Chamber

  • 340 mm inside width, 12 ports, three simultaneous EDS detectors possible, two at 180°, coplanar EDS/EBSD orthogonal to the tilt axis of the stage
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Komodo Tabs

Resources

Long working distance imaging on palladium nanoparticles on cerium oxide matrix.

Easy nanoparticles imaging at 10 mm working distance.

Highlight contrast that would otherwise go unnoticed

High material contrast and easy platinum nanoparticles imaging at 10 mm working.

This video demonstrates how Apreo's Trinity detection system quickly answers all our questions about a sample. 

On-demand webinar: Introduction to Apreo 2 - Unmatched versatility powered by ChemiSEM Technology

This is an introduction on-demand webinar to be followed by a more extensive overview of the Apreo 2 SEM, its features, functionalities, ChemiSEM technology, and a demonstration of the Apreo 2 in action. Attend this on-demand webinar to:

  • Learn about the latest in analytical UHR-SEM from Thermo Fisher Scientific.
  • Get introduced to the Apreo 2 SEM.

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Long working distance imaging on palladium nanoparticles on cerium oxide matrix.

Easy nanoparticles imaging at 10 mm working distance.

Highlight contrast that would otherwise go unnoticed

High material contrast and easy platinum nanoparticles imaging at 10 mm working.

This video demonstrates how Apreo's Trinity detection system quickly answers all our questions about a sample. 

On-demand webinar: Introduction to Apreo 2 - Unmatched versatility powered by ChemiSEM Technology

This is an introduction on-demand webinar to be followed by a more extensive overview of the Apreo 2 SEM, its features, functionalities, ChemiSEM technology, and a demonstration of the Apreo 2 in action. Attend this on-demand webinar to:

  • Learn about the latest in analytical UHR-SEM from Thermo Fisher Scientific.
  • Get introduced to the Apreo 2 SEM.

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Applications

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Grundlagenforschung in der Materialforschung

Neuartige Materialien werden in immer kleineren Dimensionen untersucht, um ihre physikalischen und chemischen Eigenschaften bestmöglich zu kontrollieren. Die Elektronenmikroskopie gibt Forschern wichtige Einblicke in eine Vielzahl von Materialeigenschaften auf der Mikro- bis Nanoebene.

 

Qualitätskontrolle und Fehleranalyse mittels Elektronenmikroskopie

Qualitätskontrolle und Fehleranalyse

Qualitätskontrolle und Qualitätssicherung sind in der modernen Industrie von entscheidender Bedeutung. Wir bieten eine Reihe von EM- und Spektroskopiegeräten für die mehrskalige und multimodale Analyse von Mängeln, mit denen Sie zuverlässige und fundierte Entscheidungen für die Kontrolle und Verbesserung von Prozessen treffen können.

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Pathfinding und Entwicklung von Halbleitern

Fortschrittliche Elektronenmikroskopie, fokussierter Ionenstrahl und zugehörige Analyseverfahren zur Identifizierung umsetzbarer Lösungen und Designmethoden für die Herstellung von leistungsstarken Halbleiterbauelementen.

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Ausbeutesteigerung und Metrologie

Wir bieten fortschrittliche Analysemöglichkeiten für die Fehleranalyse, Metrologie und Prozesskontrolle, die die Produktivität erhöhen und die Ausbeute bei zahlreichen Halbleiteranwendungen und Halbleiterbauelementen verbessern.

Fehleranalyse von Halbleitern

Fehleranalyse von Halbleitern

Durch immer komplexere Strukturen von Halbleiterbauelementen können sich an mehr Stellen folgenschwere Mängel verbergen. Mit unseren Arbeitsabläufen der nächsten Generation können Sie auch kleinste Probleme in der Elektrik lokalisieren und charakterisieren, die sich auf die Ausbeute, Leistung und Zuverlässigkeit auswirken.

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Physikalische und chemische Charakterisierung

Die kontinuierliche Nachfrage der Verbraucher treibt die Entwicklung kleinerer, schnellerer und kostengünstigerer elektronischer Geräte voran. Ihre Fertigung basiert auf hoch produktiven Geräten und Arbeitsabläufen, die eine breite Palette von Halbleiterbauelementen und Anzeigegeräten abbilden, analysieren und charakterisieren.

Fehleranalyse von Anzeigemodulen

Fehleranalyse von Anzeigemodulen

Die Entwicklung von Anzeigetechnologien zielt darauf ab, die Anzeigequalität und die Effizienz der Lichtkonvertierung zu verbessern, um Anwendungen in verschiedenen Branchen zu unterstützen und gleichzeitig die Produktionskosten weiter zu senken. Unsere Lösungen für Prozessmesstechnik, Fehleranalyse und Forschung und Entwicklung helfen Unternehmen, die sich mit Anzeigen beschäftigen, diese Herausforderungen zu meistern.


Techniques

ColorSEM

Unter Verwendung der Live-EDS (energiedispersive Röntgenspektroskopie) mit Live-Quantifizierung verwandelt die ColorSEM Technologie die REM-Bildgebung in eine Farbtechnik. Jeder Anwender kann nun kontinuierlich Elementdaten erfassen, um umfassendere Informationen als je zuvor zu erhalten.

Weitere Informationen ›

Energiedispersive Röntgenspektroskopie

Die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) sammelt detaillierte Elementinformationen zusammen mit elektronenmikroskopischen Aufnahmen und liefert einen entscheidenden Kontext zur chemischen Zusammensetzung für EM-Beobachtungen. Mittels der EDS kann die chemische Zusammensetzung aus schnellen, ganzheitlichen Oberflächenscans bis hin zu einzelnen Atomen bestimmt werden.

Weitere Informationen ›

Bildgebung von heißen Proben

Das Studium von Materialien unter realen Bedingungen erfordert häufig ein Arbeiten bei hohen Temperaturen. Das Verhalten von Materialien beim Rekristallisieren, Schmelzen, Verformen oder Reagieren in Gegenwart von Wärme kann in situ mit Rasterelektronenmikroskopie oder DualBeam-Geräten untersucht werden.

Weitere Informationen ›

Kathodolumineszenz

Kathodolumineszenz (Cathodoluminescence, CL) beschreibt die Emission von Licht aus einem Material, wenn es von einem Elektronenstrahl angeregt wird. Dieses Signal, das von einem speziellen CL-Detektor erfasst wird, enthält Informationen über die Zusammensetzung der Probe, Kristalldefekte oder photonische Eigenschaften.

Weitere Informationen ›

Mehrskalenanalyse

Neuartige Materialien müssen mit immer höherer Auflösung analysiert werden, wobei der größere Kontext der Probe erhalten bleiben muss. Die Mehrskalenanalyse ermöglicht die Korrelation verschiedener Geräte und Modalitäten zur Bildgebung wie Röntgen-Mikro-CT, DualBeam, Laser-PFIB, REM und TEM.

Weitere Informationen ›

Bildgebung und Analyse von Halbleitern

Thermo Fisher Scientific bietet Rasterelektronenmikroskope für jede Funktion eines Halbleiterlabors, von allgemeinen Bildgebungsaufgaben bis hin zu fortschrittlichen Fehleranalyseverfahren, die präzise Spannungskontrastmessungen erfordern.

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ColorSEM

Unter Verwendung der Live-EDS (energiedispersive Röntgenspektroskopie) mit Live-Quantifizierung verwandelt die ColorSEM Technologie die REM-Bildgebung in eine Farbtechnik. Jeder Anwender kann nun kontinuierlich Elementdaten erfassen, um umfassendere Informationen als je zuvor zu erhalten.

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Energiedispersive Röntgenspektroskopie

Die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) sammelt detaillierte Elementinformationen zusammen mit elektronenmikroskopischen Aufnahmen und liefert einen entscheidenden Kontext zur chemischen Zusammensetzung für EM-Beobachtungen. Mittels der EDS kann die chemische Zusammensetzung aus schnellen, ganzheitlichen Oberflächenscans bis hin zu einzelnen Atomen bestimmt werden.

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Bildgebung von heißen Proben

Das Studium von Materialien unter realen Bedingungen erfordert häufig ein Arbeiten bei hohen Temperaturen. Das Verhalten von Materialien beim Rekristallisieren, Schmelzen, Verformen oder Reagieren in Gegenwart von Wärme kann in situ mit Rasterelektronenmikroskopie oder DualBeam-Geräten untersucht werden.

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Kathodolumineszenz

Kathodolumineszenz (Cathodoluminescence, CL) beschreibt die Emission von Licht aus einem Material, wenn es von einem Elektronenstrahl angeregt wird. Dieses Signal, das von einem speziellen CL-Detektor erfasst wird, enthält Informationen über die Zusammensetzung der Probe, Kristalldefekte oder photonische Eigenschaften.

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Mehrskalenanalyse

Neuartige Materialien müssen mit immer höherer Auflösung analysiert werden, wobei der größere Kontext der Probe erhalten bleiben muss. Die Mehrskalenanalyse ermöglicht die Korrelation verschiedener Geräte und Modalitäten zur Bildgebung wie Röntgen-Mikro-CT, DualBeam, Laser-PFIB, REM und TEM.

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Bildgebung und Analyse von Halbleitern

Thermo Fisher Scientific bietet Rasterelektronenmikroskope für jede Funktion eines Halbleiterlabors, von allgemeinen Bildgebungsaufgaben bis hin zu fortschrittlichen Fehleranalyseverfahren, die präzise Spannungskontrastmessungen erfordern.

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