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Thermo Scientific™
SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards
Vereinfachen Sie mit diesen Partikelgrößenstandards die Vorbereitung von Kalibrierungswafern.
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| Katalognummer | Durchmesser (metrisch) | Konzentration |
|---|---|---|
| PD-802 | 0,802 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-047 | 0,047 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-047B | 0,047 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-064 | 0,064 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-064B | 0,064 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-083 | 0,083 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-083B | 0,083 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-092 | 0,092 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-092B | 0,092 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-100 | 0,100 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-100B | 0,100 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD1100 | 1,112 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD1100B | 1,112 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-125 | 0.126μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-125B | 0.126μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-155 | 0,155 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-155B | 0,155 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-200 | 0,202 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD2000 | 2,01 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-200B | 0,202 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-204 | 0,204 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-204B | 0,204 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-215 | 0,220 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-215B | 0,220 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD3000 | 3,04 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-305 | 0,304 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-305B | 0,304 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-365 | 0,360 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-365B | 0,360 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-500 | 0,498 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-500B | 0,498 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-800 | 0,809 μm | 3 x 108 Partikel / ml |
| PD-800B | 0,809 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
| PD-802B | 0,802 μm | 1 x 10 ¹ º Partikel / ml |
Katalognummer PD-802
Preis (EUR)Angebot anfordern
-
Durchmesser (metrisch):
0,802 μm
Konzentration:
3 x 108 Partikel / ml
Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.
Thermo Fisher Scientific™ hat zusammen mit der Halbleiterindustrie und SEMI bestimmte Partikelgrößen festgelegt, die bei der Kalibrierung von Oberflächeninspektionssystemen verwendet werden. Wir haben zusammen mit diesen Instrumentenherstellern die Produktreihe SURF-CAL™ entwickelt, die die Richtlinien der SEMI-Norm erfüllt.
- Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der “International Technology Roadmap for Semiconductors” (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet
- Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™ rückführbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
- Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
- Alle Produkte werden in deionisiertem, gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen mit einer Konzentration von 3 x108 Partikel pro ml aufgelöst.
Hinweis:
Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.
Specifications
ZusatzstoffOhne
Konzentration3 x 108 Partikel / ml
InhaltPolystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser
BeschreibungPartikel für die Kalibrierung und Wartung von Scanoberflächen-Inspektionssystemen (SSIS)
EnthältZertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST
Partikeldichte1.05g/cm ³
Menge50 mL
Brechungsindex1,59 bei 589 nm (25 °C)
Größenverteilungen0.009μm
StabilitätProdukt stabil für mindestens 12 Monate
FarbeWeiß oder farblos
Durchmesser (metrisch)0,802 μm
Zur Verwendung mit (Anwendung)SSIS-Kalibrierung und Wartung
MaterialPolystyrol
ProdukttypPartikel in Standardgrößen
Unit SizeEach
Inhalt und Lagerung
Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen.