最適な XPS 性能を提供するように設計されたマイクロフォーカス 型モノクロメーター X 線源を備えた ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブは、最大限のサンプルスループットを保証します。マルチテクニック対応の幅広い前処理チャンバーおよび各種オプションにより、さまざまな表面分析のソリューションを提供します。 Avantage データシステムを使用することにより、分析データから最大限の情報を確実に得ることができます。

ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブの特徴

• 高感度測定
• 微小領域 XPS
• デプスプロファイリング機能
• 角度分解 XPS
• イオン散乱分光法 (ISS) 標準
• 反射電子エネルギー損失分光分析法 (REELS) 標準
• 予備処理 チャンバーを標準装備
• マルチテクニック分析汎用性
• 多数の試料前処理オプション
• 自動、無人分析
• 複数試料の分析

X 線モノクロメーター

• ツインクリスタル、マイクロフォーカス型モノクロメーターは、500mm のローランド円で、Al アノードを使用
• X 線スポットサイズは 200 ～ 900μm の範囲から選択可能

レンズ、アナライザー、および検出器

• ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブは、レンズ/アナライザー/検出器の組み合わせにより、イメージングと微小領域 XPS の両方に使用できます
• 二種類の検出器があるので、分析のタイプに合わせて最適な検出が保証されます — XPSイメージング用には二次元検出器、また高い感度で検出される測定にはチャネル検出器を使用します
• レンズにはコンピュータ制御されたスリットが二つ装備されています — 一つは、微小領域分析の際にレンズの視野を 最小 20 m まで制御でき、もう一つはレンズの見込み角度の範囲を制御するもので、高品質の角度分解 XPS に必須の機能です
• 180° 半球型エネルギーアナライザー

デプスプロファイリング

• デジタル制御 EX06 イオン銃は、低エネルギーのイオンを使用した場合でも高性能のイオン源です
• 試料の面内回転を使用できます
• マルチテクニック対応
• XPS 性能を損ねることなく、他の分析技術に対応しています
• レンズと分析装置の極性は反転可能で、EX06 イオン銃により、ISS (イオン散乱分光法) を常に使用できます
• 電子銃は 1000V まで操作可能で、REELS に対して優れた電子源です

技術オプション

• 非モノクロ X 線 XPS
• AES (オージェ電子分光法)
• UPS (紫外光電子分光法)

真空システム

• 5mm 厚のミューメタル分析チャンバーにより、磁気シールドの効率性が最大限に高まります
• 内側または外側のシールドを使用するシールド方法に比べ、より効果的です

サンプル前処理

• エントリーロックと前処理チャンバーは、基本システムの一部です
• 追加の前処理チャンバーを使用できます

Avantage データシステム

• 装置制御、データ収集、データ処理、レポート作成など、分析のすべての側面を統合します
• リモートコントロールが可能で、Microsoft Word などのサードパーティソフトウェアと容易に連動できます
• サンプルからレポートまでの総合分析プロセスを管理します