Cientistas e engenheiros, tanto acadêmicos quanto da indústria, constantemente se deparam com novos desafios que exigem uma caracterização altamente localizada de uma ampla variedade de amostras e materiais. O impulso contínuo para melhorar a qualidade desses materiais significa que, frequentemente, há a necessidade de informações estruturais e de composição em nanoescala. Instrumentos de microscopia eletrônica de varredura de feixe de íons focalizados (FIB SEM) DualBeam geram exatamente esse tipo de dados, combinando a modificação precisa da amostra pelo FIB com a imagem de alta resolução da SEM.
A Thermo Fisher Scientific é líder do setor em tecnologia FIB SEM com mais de 25 anos de experiência com instrumentação DualBeam. Oferecemos um amplo portfólio de produtos e recursos avançados de automação para uma variedade de aplicações, incluindo preparação de amostras por microscopia eletrônica de transmissão (TEM), caracterização subsuperficial e 3D, nanoprototipagem e experimentação in situ.
Folha de estilo para Fontes
Folha de estilo para cartões de instrumentos original
Microscopia por elétrons
Instrumentos DualBeam
Instrumentos de FIB SEM para análise estrutural automatizada, preparação de amostras por TEM e nanoprototipagem.
Detecção de emissão de fótons de baixa tensão, baixo ruído e alta sensibilidade com sistemas de câmera de banda larga DBX ou InGaAs
Microscópio de varredura a laser com vários comprimentos de onda para análise da cadeia de varredura, mapeamento de frequência, sondagem de transistor e isolamento de falhas
Disponível em 3 modelos para suportar amostras de tamanho padrão com diâmetros de 25 mm (aprox. 1 pol.), 32 mm (aprox. 1¼ pol.) e 40 mm (aprox. 1½ pol.)
A preparação de amostras por TEM é considerada uma das tarefas mais críticas na pesquisa de ciência de materiais. Contudo, também é uma das mais desafiadoras e demoradas. As mais recentes inovações tecnológicas da tecnologia DualBeam, juntamente com as nossas soluções de software abrangentes e experiência em aplicações, permitem uma preparação rápida e fácil de amostras específicas do local por S/TEM (microscopia eletrônica de varredura/microscopia eletrônica de transmissão) para uma ampla gama de materiais. O software AutoTEM da Thermo Scientific acrescenta a capacidade de preparação de amostras por TEM in situ totalmente automatizada e autônoma, aumentando significativamente a produtividade, proporcionando resultados especializados, independentemente da sua experiência.
Análise estrutural
Quando combinados com o software Auto Slice & View da Thermo Scientific, os instrumentos DualBeam fornecem uma visão 3D da estrutura da amostra removendo seletivamente (desbastando) o material para caracterização de subsuperfície. A reconstrução digital gera conjuntos de dados 3D multimodais que podem consistir em uma variedade de sinais, incluindo imagens de elétrons retroespelhados (BSE) para máximo contraste de materiais, espectroscopia por energia dispersiva (EDS) para informações de composição e difração eletrônica retroespelhada (EBSD) para informações microestruturais e cristalográficas.
A capacidade de SEM dos instrumentos DualBeam oferece detalhes em escala nanométrica em uma ampla variedade de condições de trabalho, desde informações estruturais obtidas em 30 keV no modo de STEM até informações de superfície detalhadas e sem carga em energias mais baixas. Com detectores exclusivos intralente, os sistemas DualBeam foram desenvolvidos para a aquisição simultânea de dados secundários eletrônicos angulares/seletivos de energia e BSE. Resultados rápidos, precisos e reproduzíveis são fornecidos pelo nosso desenho exclusivo de coluna SEM, que inclui alinhamentos de lentes totalmente automatizados.
Nanoprototipagem
Os recursos de nanopadronização dos sistemas DualBeam podem reduzir substancialmente o tempo de pesquisa e desenvolvimento. A prototipagem rápida com o FIB permite testes de funcionalidade antes que o layout final do dispositivo seja estabelecido para a fabricação em lote. A deposição induzida por feixe de diferentes materiais pode ser combinada com o desbaste por FIB sem a necessidade de etapas adicionais de litografia de alinhamento; os padrões podem ser adicionados diretamente a estruturas depositadas ou os padrões existentes podem ser modificados. Os substratos padronizados finais estão imediatamente disponíveis para processamento ou caracterização posterior.
TEM sample of a nickel super alloy material being prepared by FIB milling. This SEM image shows the initial chunking step, which consists of a high-current rough cut followed by a medium-current polish.
SEM image of a nickel super alloy sample attached to a grid after lift-out.
High-resolution STEM image of an ultra-thin TEM lamella, which shows the arrangement of individual atomic columns of strontium titanate. Sample prepared with the Helios DualBeam.
Aluminum sample where a 5x6 array of STEM lamella has been prepared in 6 hours with AutoTEM Software, undercut and ready for lift-out during fully automated, unattended operation.
Automated drift-corrected nano-pillar milling produced with multiple beam currents and Autoscript Software. Horizontal field width = 10 µm.
Reconstrução 3D de um revestimento de filtro de óleo automotivo, adquirida com o Helios Hydra DualBeam e o software Auto Slice & View 4 para seccionamento em série automatizado. Largura do campo horizontal = 350 µm.
TEM sample of a nickel super alloy material being prepared by FIB milling. This SEM image shows the initial chunking step, which consists of a high-current rough cut followed by a medium-current polish.
SEM image of a nickel super alloy sample attached to a grid after lift-out.
High-resolution STEM image of an ultra-thin TEM lamella, which shows the arrangement of individual atomic columns of strontium titanate. Sample prepared with the Helios DualBeam.
Aluminum sample where a 5x6 array of STEM lamella has been prepared in 6 hours with AutoTEM Software, undercut and ready for lift-out during fully automated, unattended operation.
Automated drift-corrected nano-pillar milling produced with multiple beam currents and Autoscript Software. Horizontal field width = 10 µm.
Reconstrução 3D de um revestimento de filtro de óleo automotivo, adquirida com o Helios Hydra DualBeam e o software Auto Slice & View 4 para seccionamento em série automatizado. Largura do campo horizontal = 350 µm.
Para garantir o desempenho ideal do sistema, fornecemos acesso a uma rede de especialistas em serviços de campo, suporte técnico e peças de reposição certificadas.
