JupiterソリッドネブライザーICP-MSは、元素分析者が抱える問題を容易に解決します 高性能を示すアプリケーションデータ集

固体試料を「溶かさず」微量元素分析

Jupiterソリッドネブライザーを用いれば、ほぼすべての材質の固体試料の定量分析が高感度・正確に行えます。高速多点レーザー照射により複数試料から発生するエアロゾルを独自の手法で混合することで、溶液ICP-MSにおける標準添加法やマトリックスマッチング法によりもさらに高精度な定量分析を、固体試料に対して簡単・迅速に適用可能にしました。さらに、高い検出感度と定量精度はそのままに、2D／3Dイメージング定量分析も実現しました。

Jupiterによる高速多点レーザー照射

溶液ICP-MSを超える検出感度・定量精度を実現

  • 手作業での希釈・添加操作による秤量誤差やコンタミネーションのリスクが排除され、溶液分析よりも高精度です。
  • 溶解・希釈操作による感度のロスもなくなり、溶液分析以上の高感度を達成します。

あらゆる固体材料の主成分～極微量成分の一斉定量分析を実現

  • 試料の材質を問わず、同一組成の標準試料なしに定量分析可能です。
  • これまで困難だった不溶性・難溶性材料の精密定量も実現します。

極めて高い感度を要求される半導体材料の多角的分析を実現

  • VPD-ICP-MSでは不可能な、ウェハー表面の局所分析を高感度で実現します。
  • ウェハー上のナノ粒子レベルの汚染を検出可能です。
  • イオン注入元素の深さ方向定量分析が可能です。

【技術資料】JupiterソリッドネブライザーICP-MS – 高性能を示すアプリケーションデータ集

さまざまな種類の固体・粉体試料について取得したJupiterによる分析データ集を公開中です。Jupiter＋Thermo Scientific™ iCAP™ TQによる簡単・迅速、高感度・高精度定量分析と、極めて難易度の高い半導体分析などへの適用範囲の広さを示しました。

  • ソリッドネブライザーによる高感度・高精度定量分析を実証①（ガラス、高純度銅、樹脂）
  • ソリッドネブライザーによる高感度・高精度定量分析を実証②（茶葉、SiN、SiC、鉄鋼）
  • ソリッドネブライザーが実現する高度なアプリケーション：半導体分析への応用
  • ソリッドネブライザーが実現する高度なアプリケーション：バイオイメージング

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