近年、水素は多くの工業用化学プロセスで使用が拡大しています。例えば、燃料電池自動車の燃料や、半導体の薄膜蒸着のキャリアガス、また加熱用の燃料など、ますます利用が拡大しています。同様に水素の品質も重要です。今回は、水素ガスの不純物モニタリングについてご紹介します。
高純度への挑戦
半導体や自動車のような水素アプリケーションの厳しい純度要求に応えるために、測定器はより低いppbレベルの検出限界を持つ必要があります。また、多くのガスを同時に測定し、迅速かつ費用対効果の高いソリューションを提供する必要があります。
燃料電池用水素の国際規格であるISO 14687で規定されている数多くの不純物成分の分析には、通常、分光法やガスクロマトグラフィー(GC)など複数の分析装置が必要です。GCは感度要件を満たしますが、メンテナンスコストが高く、サンプルの分離が必要なため、分析時間が長くなることがよくあります。一方で市販されているほとんどのFT-IR装置は、液体窒素で冷却された検出器を必要とし、このような難しいアプリケーションに必要な検出限界を達成することはできませんでした。
この要求を満たす製品がThermo Scientific™ MAX-iR™ FTIRガスアナライザーです。
MAX-iR FTIRガスアナライザーは液体窒素を必要とすることなく、全赤外スペクトル範囲をモニターできます。この製品は給油所などでの現場測定にも利用可能で、不純物を1 ppbレベルまで検出することが可能です。また、メンテナンスと液体窒素を必要としないため、24時間 365日稼働できます。

図1. Thermo Scientific MAX-iR FTIRガスアナライザー
測定
MAX-iR FTIRガスアナライザーの検出限界を評価するために、連続した12個のブランクサンプルの分析を実施しました。ブランクサンプルとしてリサーチグレード(99.9999 %)の水素または窒素を使用しました。装置の検出下限値(DL)は、12回繰り返したサンプルの標準偏差の3倍と定義しました。評価に使用したMAX-iRアナライザーにはDTGS検出器を利用しました。
この実験により得られた、各ガス成分の検出下限値を表1に示します。
表1に示したガス種に加え、例えばジクロロジフルオロメタン、クロロメタン、塩化ビニル、ジクロロメタンなど、他のハロゲン種の分析にも使用できます。
さらに、MAX-iR FTIRアナライザーにはFT-IRまたは光学強化型FT-IRの光学的性能を大幅に強化するThermo Scientific™ StarBoost™光学強化テクノロジーを搭載できます。この機能をもちいたStarBoost構成はDTGS検出器よりもスペクトル範囲が狭くなりますが、CO、CO2、CH4などの不純物に対する感度が大幅に向上し、pptレベルの感度を提供します。StarBoost構成の検証結果を表2に示します。
ガス | 最大許容限界 ISO 14687 (ppm) |
MAX-iR DTGS DL (ppm) |
アンモニア | 0.1 | 0.020 |
二酸化炭素 | 2 | 0.010 |
一酸化炭素 | 0.2 | 0.020 |
ホルムアルデヒド | 0.2 | 0.030 |
ギ酸 | 0.2 | 0.010 |
塩化水素 | 50* | 0.020 |
フッ化水素 | 50* | 0.010 |
水分 | 5 | 0.100 |
全炭化水素 (C1-C5) | 2 | 0.200 |
非メタン系炭化水素 (C2-C5) | 2 | 0.200 |
メタン | 100 | 0.010 |
エタン | — | 0.020 |
エチレン | — | 0.050 |
プロパン | — | 0.040 |
ブタン | — | 0.080 |
ペンタン | — | 0.050 |
* ハロゲン化合物の総量規制は50 ppmです。 |
誤差 | 直線性 | 標準偏差 | EPA 821- R-16-006 |
|
% of Expected |
R2 | RSD | MDLs (ppb) |
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二酸化炭素 | 1.25% | 0.9999 | 0.70% | 0.7 |
一酸化炭素 | 2.91% | 0.9999 | 2.43% | 0.6 |
メタン | 2.15% | 0.9998 | 0.88% | 1.1 |
まとめ
MAX-iR FTIRアナライザーは、柔軟で高感度な分析ツールで、バルク高純度水素中の多くの微量不純物の同時測定が可能です。燃料電池用水素(純度99.97 %)の品質管理には、ISO 14687で規定された多くの不純物を迅速かつ高精度に分析、モニタリングできるDTGS検出器仕様が適しています。
関連情報
製品情報 MAX-iR FTIRガスアナライザー
アプリケーションノート
水素ガス中の不純物測定
研究用にのみ使用できます。診断用には使用いただけません。