WDS MagnaRay スぺクトロメーターは Thermo Scientific™ 製の電子顕微鏡用 X 線微量分析ソフトウェア「Pathfinder™」と完全に統合されており、EDS 検出器によるデータ収集中に、自動的に分析対象の元素が判断され、すべての WDS 操作が実行されます。分光器の設定および操作の詳細は、内蔵されたエキスパートシステムにより、自動的に実行されます。ピークの重なり、微量元素解析あるいは、正確な定量分析が必要な場合、WDS MagnaRay 分光器は簡単に素早く分析を実行します。

WDS MagnaRay 分光器の特長：

EDS のような使い易さで WDS の正確性と信頼性

• 他に類を見ない微量分析結果
• 高分離能
• 微量元素に対する感度
• 全スペクトル範囲を網羅する連続分光器
• 保証された感度仕様

スピードと精度

• 回折格子とカウンターの両方をダイレクトに駆動させる機構により、WDS MagnaRay 分光器はわずか 0.25 秒で分析元素の切り替えが可能です。従来の WDS 分光器がまだ最初の元素の分析をしている間に、WDS MagnaRay 分光器は複数元素を素早く分析できます
• ダイレクトドライブシステムに連結されているエンコーダーによって、WDS ピーク位置がいつも正しい位置に保たれるように、角度誤差 0.001 度の精度を保証します

SEM および低電圧の用途
高感度、軽元素の検出、重なるピーク、高い P／B 比、または高い空間解像度がきわめて重要な用途に最適です。

• WDS の X 線オプティクスが、EDS 検出器と同様に SEM チャンバーに挿入されます
• 低い照射電流と低加速電圧の操作条件下において高レベルの分析を提供します

感度

• WDS は、サンプルから放出され発散していく X 線を、平行光に変換する X 線焦点オプティクスを搭載しており、平行光に変換された X 線は、回折格子を用いてブラッグ回折されます
• ポリキャピラリーとグレージング入射方式を組み合わせた特許取得済みのハイブリッド X 線焦点オプティクスを使用することで、低エネルギーから高エネルギーまでの X 線カウントレートが得られます
• ハイブリッド X 線焦点オプティクスは、単一で低エネルギーの封じ切り型のキセノンガスのプロポーショナルカウンターを採用しています。旧式のガス流量比例係数管のタイプと比較して、設計と操作が簡便に、そしてすべての元素に対してスループットが向上しています

ナノスケール分析
ナノスケールの微粒子や薄膜のような、X 線の発生領域の少ないサンプルに最適です

• P/B 比と最高の X 線収集速度による微量元素分析を実行します
• 分光器のためではなくサンプルおよび SEM に基づいて動作します
• 最近のナノスケールの材料分析に要求される、非常に厳しい条件で動作し、SEM の操作条件に合わせた WDS 分析を可能にします
• 従来の高エネルギー、高電流の WDS分析 で広く発生していたサンプルチャージおよびサンプルダメージの問題を解決します
• 従来の高い加速電圧や高い照射電流による悪影響を受けることのないよう、WDS の最適な機能を組み込みました

定性分析

• EDS においてピークの重なりが発生したときに、WDS は EDS をサポートしサンプルの定性分析を実施します
• WDSは、EDS において分析が困難な Mo、S、Pb、あるいは、Si、Ta、W のような元素が含まれるかどうかの結果を、EDS の収集中に自動で測定します

定量分析

• 内蔵されたエキスパートシステムを使用して、サンプルの位置、照射電流、および分光器の条件設定に関する問題を解消します
• 分光計のアライメントが自動的に実施されます
• 最も適切な元素を選択し、最適な操作を実現するためにサンプルと分光計のアライメントを行います
• 自動化された照射電流測定により、正確な定量的結果を提供します

X 線マップとラインスキャン

• 低濃度材料に対して、高いコントラストの X 線マップおよびラインスキャンを行います
• WDS マップおよびラインスキャンを容易に収集します