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Thermo Scientific™
SURF-CAL™ 粒径標準
この粒径標準を使用して、キャリブレーションウェハーの調整を簡素化できます。
| 製品番号（カタログ番号） | 直径（メートル法） | 濃度 |
|---|---|---|
| PD-365 | 0.360 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-047 | 0.047 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-047B | 0.047 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-064 | 0.064 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-064B | 0.064 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-083 | 0.083 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-083B | 0.083 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-092 | 0.092 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-092B | 0.092 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-100 | 0.100 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-100B | 0.100 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD1100 | 1.112 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD1100B | 1.112 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-125 | 0.126 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-125B | 0.126 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-155 | 0.155 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-155B | 0.155 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-200 | 0.202 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD2000 | 2.01 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-200B | 0.202 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-204 | 0.204 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-204B | 0.204 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-215 | 0.220 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-215B | 0.220 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD3000 | 3.04 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-305 | 0.304 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-305B | 0.304 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-365B | 0.360 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-500 | 0.498 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-500B | 0.498 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-800 | 0.809 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-800B | 0.809 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
| PD-802 | 0.802 μm | 3 x 108 particles/mL |
| PD-802B | 0.802 μm | 1 x 10¹° particles/mL |
製品番号（カタログ番号） PD-365
価格（JPY）見積もりを依頼する
-
直径（メートル法）:
0.360 μm
濃度:
3 x 108 particles/mL
Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 粒径標準は、走査型表面検査システム (SSIS) のキャリブレーションとメンテナンス用で、キャリブレーションウェハーの調整を簡素化できます。装置製造業者が必要とするキャリブレーションポイントサイズに相当する粒径をご用意しています。
サーモフィッシャーサイエンティフックは半導体業界や SEMI とともに、走査型表面検査装置のキャリブレーション時に使用される特定粒径を確立しました。装置製造業者と協力し、SEMI 標準ガイドラインに準拠できるよう SURF-CAL™ 製品ラインを生み出しました。
- 利用できる粒径は、国際半導体技術ロードマップ (ITRS) の規定に基づく重要なサイズと見なされています。
- SURF-CAL™ の NIST™ トレーサブルなポリスチレンラテックス粒子 (PSL) を特別に選別したウェハー上に沈潜させることにより、定期的にキャリブレーションを確認したり、お手持ちのスキャナーを他の場所に設置したスキャナーと比較できます。
- また、製造プロセスの重要な段階で SSIS の性能を評価することもできます。
- すべての製品は、50 mL のボトルに 3 x 108/mL の濃度で脱イオン濾過水に懸濁されています。
注:
微分型移動度分析器 (DMA) やその他のサイズ排除技術を用いたアプリケーション用に、PD1100 およびそれ以下の粒径の製品が 1010粒子/mL でご利用できます。
仕様
添加剤None
濃度3 x 108 particles/mL
内容Polystyrene microspheres in deionized, filtered water
概要Particles for calibration and maintenance of Scanning Surface Inspection Systems (SSIS)
内容Certificate of Calibration and Traceability to NIST
粒子密度1.05g/cm³
数量50 mL
屈折率1.59 at 589nm (25°C)
サイズ分布0.005µm
安定性Product stable for a minimum of 12 months
色White or Colorless
直径（メートル法）0.360 μm
使用対象（アプリケーション）SSIS Calibration and Maintenance
材料ポリスチレン
製品タイプSize Standard Particles
Unit SizeEach
組成および保存条件
Unless otherwise stated, refrigerate (2° to 8°C) product when not in use but do not freeze. Store upright and keep bottle tightly sealed. Mix product with gentle inversion by hand or vortex mixer.