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반도체

Helios 6 HD FIB-SEM

  • 고용량 TEM 시료 준비
  • 시스템 활용 극대화
  • 실패 분석 및 측정

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Meridian EX 시스템

  • 새로운 전자 빔 탐침
  • 10x 분해능 대 광학
  • <5 nm 결절 결함 국소화

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Hydra Bio Plasma-FIB

  • 4 개의 전환 가능한 이온 종을 포함하는 동결 또는 수지 포매 시료용 부피 EM
  • 스핀밀바이오(Spin Mill Bio) 방법을 사용한 높은 z-정밀도의 밀리미터 규모 절단
  • 상관 표적화를 위한 통합형 광학 현미경

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Glacios 2 Cryo-TEM

  • 고분해능 구조 측정 도구(< 3Å)
  • AI 강화 자동화를 통한 비할 데 없는 사용 편의성
  • 유연한 작동 표준 모드: SPA, 단층촬영, MicroED

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Metrios 6 (S)TEM

  • 완전 자동화 반도체 측정 워크플로우
  • (S)TEM 측정을 위한 레시피 없는(recipe-free) 자동화
  • 효율적인 화학 분석

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FIB-SEM 및 레이저 절제

  • 정확하고 반복 가능한 절단 배치를 위해 세 개의 빔 모두 일치 지점 동일
  • 일반적인 FIB보다 최대 15,000배 더 빠른 물질 제거가 가능한 밀리미터 규모의 단면
  • 통계적으로 관련있는 깊은 표면하부 및 3D 데이터분석

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Arctis Cryo-Plasma-FIB

  • 광학 현미경법과의 상관관계 및 TEM에서의 재배치
  • 일관된 두께의 고품질 라멜라
  • 초저온 단층촬영(cryo-tomography)를 위한 자동화된 고처리량 및 연결성

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Phenom ParticleX Battery Desktop SEM

  • 고품질, 자체 분석을 위한 다용도 솔루션
  • 자동화 시스템 및 여러 시료 분석
  • 10배 빠른 검사

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CleanMill 시스템

  • 광범위한 이온 빔 밀링 및 연마
  • 넓은 가속 전압 범위
  • 초저온 시료 준비
  • CleanConnect compatible

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Krios Rx Cryo-TEM

  • 업계 최고의 생산성 및 사용 편의성
  • 고정 300kV 전압 - SPA 전용
  • 신뢰성 보장을 위한 제약 전용 서비스 패키지

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Tundra Cryo-TEM

  • 생물학 관련 분해능에서 구조적 정보 제공
  • 공간 효율성 및 비용 효율성
  • 간편하고 반복적인 시료 최적화
  • 간소화된 데이터 수집을 위한 고유한 AI 알고리즘

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Krios G4 Cryo-TEM

  • 개선된 인체공학
  • 신생 실험실과 기존 실험실 모두에서 간편한 설치
  • 생산성과 자동화의 극대화
  • 고분해능 3D 재구성을 위한 최상의 이미지 품질

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Spectra Ultra TEM

  • 대부분의 빔에 민감한 물질에 대한 새로운 이미징 및 분광법 기능
  • Ultra-X를 통한 EDX 검출 기능의 도약
  • 시료 무결성을 유지하도록 설계된 컬럼

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Spectra 300 TEM

  • 원자 수준의 최고 분해능으로 구조적, 화학적 정보 제공
  • 30 ~ 300kV의 유연하고 높은 전압 범위
  • 3 렌즈 콘덴서 시스템

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Spectra 200 TEM

  • 30 ~ 200kV 가속 전압에서 고분해능 및 콘트라스트 이미지 생성
  • 5.4mm의 wide-gap pole piece 설계에 의한 대칭적 S-TWIN/X-TWIN 대물 렌즈
  • 60kV ~ 200kV에서 Angstrom 미만의 STEM 이미징 분해능

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Glacios Cryo-TEM

  • 80 ~ 200kV의 유연한 가속 전압
  • 초저온 시료 조작을 위한 업계 최고의 Autoloader
  • 작은 공간 차지
  • 향상된 사용 편의성

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Metrios AX TEM

  • 품질, 일관성, 계측, 운영 비용 절감을 지원하는 자동화 옵션
  • 머신 러닝을 활용하여 탁월한 자동맞춤 및 기능 인식 제공
  • in-situ 및 ex-situ 라멜라 준비용 워크플로우

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Talos L120C TEM

  • 안정성 향상
  • 4K × 4K Ceta CMOS 카메라
  • 25 ~ 650kX의 TEM 배율
  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공

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Talos F200i TEM

  • 고품질, 고분해능 (S)TEM 이미징 및 유연한 EDS
  • 고분해능, 고휘도 (콜드) 전계 방출건과 함께 사용 가능
  • 최고 분석 처리량을 위해 이중 EDS와 함께 사용 가능

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Talos F200S TEM

  • 정확한 화학적 조성 데이터
  • 동적 현미경 검사를 위한 - 고성능 이미징과 정확한 조성 분석
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

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Talos F200X TEM

  • 고품질, 고분해능 (S)TEM 이미징 및 정확한 EDS
  • 고분해능, 고휘도 (콜드) 전계 방출건과 함께 사용 가능
  • 최고의 선명도를 보여주는 in-column Super-X G2 EDS와 함께 사용 가능

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Talos F200C TEM

  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공
  • 고대비, 고품질 TEM 및 STEM 이미징
  • Ceta 16 Mpixel CMOS 카메라에 의한 넓은 관측시야와 빠른 판독 속도 구현

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ExSolve WTP DualBeam

  • 최대 직경 300mm의 전체 웨이퍼에 대해 부위 특이적인 20nm 두께 박막층 가능
  • 고급 기술 노드에서 자동화된 고처리량 샘플링 니즈 해결

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Helios 5 EXL DualBeam

  • 높은 품질의 시료 준비를 위한 저전압 성능
  • 초고분해능 액침 렌즈 전계 방출 SEM 컬럼
  • EFEM (GEM300 준수)을 통한 300mm FOUP 자동화된 핸들링

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Helios 5 DualBeam

  • 완전 자동화, 고품질, 초박막 TEM 시료 준비
  • 고처리량, 고분해능 표면하부 및 3D 특성 분석
  • 신속한 나노프로토타이핑 기능

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Helios 5 PFIB DualBeam

  • Gallium-free STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중모드 표면 하부 및 3D 정보
  • 차세대 2.5 μA xenon plasma FIB 컬럼

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Helios 5 Laser PFIB 시스템

  • 빠르고, 밀리미터-스케일 단면 절단
  • 통계적으로 유의미한 깊은 표면 하부 및 3D 데이터 분석
  • Helios 5 PFIB 플랫폼의 모든 기능 공유

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Helios Hydra DualBeam

  • 광범위한 물질에 대한 최적화된 PFIB 처리를 위한 고속 전환가능한 4개의 이온 종(XE, AR, O, N)
  • Ga-free TEM 시료 준비
  • 초고분해능 SEM 이미징

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Aquilos 2 Cryo-FIB

  • 복수의 라멜라 제작이 가능한 자동화 기술
  • lift-out nano-manipulator를 사용하여 관심구조 표적화 및 추출
  • 고분해능 단층촬영용 3D 시각화

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Scios 2 DualBeam

  • 자성 및 비전도성 시료에 대한 완벽한 지원
  • 높은 처리량의 표면 하부 및 3D 특성 분석
  • 향상된 사용 편의성 및 자동화 기능

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Axia ChemiSEM

  • 실시간 정량적 원소 맵핑
  • 높은 정확도의 주사전자현미경 이미징
  • 초보자도 사용가능한 유연성 및 사용 편의성
  • 간편한 유지관리

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Verios 5 XHR SEM

  • 1keV ~ 30keV의 전체 에너지 범위에 걸친 나노미터 미만 분해능을 위한 모노크로메이트 SEM
  • 최저 20eV까지 빔 랜딩 에너지에 쉽게 접근 가능
  • 표준으로 제공되는 piezo 스테이지에 의한 뛰어난 안정성

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Quattro ESEM

  • 고유한 환경 기능(ESEM)을 갖춘 다기능 고분해능 FEG SEM
  • 모든 조작 모드에서 동시 SE 및 BSE 이미징을 통한 모든 시료의 모든 정보 관찰

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Apreo 2 SEM

  • 전방위적인 나노미터 미만 분해능을 위한 고성능 SEM
  • 민감하고 TV 속도 물질 대비를 위한 In-column T1 후방산란 검출기
  • 긴 작동 거리에서(10mm)에서 뛰어난 성능

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VolumeScope 2 SEM

  • 큰 부피로부터 등방성(isotropic) 3D 데이터
  • 고진공 및 저진공 모드에서 고대비와 고분해능
  • 일반 SEM 사용과 연속 블록-페이스 이미징 간의 간단한 전환

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Phenom Pharos G2 Desktop FEG-SEM

  • 1 - 20 kV 가속 전압 범위의 FEG 소스
  • <2.0 nm (SE) 및 3.0 nm (BSE) 분해능 @ 20 kV
  • 완전 통합형 EDS 및 SE 검출기 옵션

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Phenom XL G2 Desktop SEM

  • 대형 시료(100x100mm)에 적합하며 자동화에 이상적
  • <10nm 분해능 및 최대 200,000x 확대, 4.8kV에서 최대 20kV 까지의 가속 전압
  • 완전 통합형 EDS 및 BSE 검출기 옵션

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Phenom ProX G6 Desktop SEM

  • EDS 통합 검출기를 갖춘 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom Pro G6 Desktop SEM

  • 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom Pure G6 Desktop SEM

  • 입문 수준 데스크탑 SEM
  • 분해능 <15nm, 최대 175,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

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Phenom Perception GSR Desktop SEM

  • 전용 자동 GSR 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

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Phenom ParticleX AM Desktop SEM

  • 적층 제조를 위한 자동화 소프트웨어가 포함된 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom ParticleX TC Desktop SEM

  • 청결도 기술을 위한 자동화 소프트웨어를 갖춘 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom ParticleX Steel Desktop SEM

  • SEM과 EDS 통합
  • 간편한 사용
  • 마이크로미터 미만 이물질

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ELITE System

  • 완전 비파괴
  • 정확한 조치를 위해 조립 보드의 결함 요소를 신속하게 식별
  • 20µm 깊이의 정확한 깊이 위치와 마이크로미터 정확도로 x-y에서 결함 위치 파악

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Hyperion II System

  • 원자간력 프로빙(Atomic Force Probing)
  • 트랜지스터 고장 국소화
  • 통합형 PicoCurrent (CAFM)

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nProber IV System

  • 트랜지스터 및 BEOL 고장 위치 확인
  • 열 나노프로빙(-40°C ~ 150°C)
  • 반자동 작동

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Meridian S System

  • 활성 프로브 기술을 통한 고장 진단
  • Static laser stimulation (SLS/OBIRCH) 및 광자 방출 옵션
  • 마이크로프로빙 및 프로브 카드 장치 자극을 모두 지원

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Meridian WS-DP System

  • 광대역 DBX 또는 InGaAs 카메라 시스템을 사용한 고감도, 저노이즈, 저전압 광자 방출 검출
  • 스캔 체인 분석, 주파수 맵핑, 트랜지스터 프로빙 및 고장 격리를 위한 다중 파장 레이저 주사 현미경

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Meridian 7 System

  • 10nm 이하의 노드에 대한 동적 광학 오류 격리
  • 고분해능 가시광선 및 적외선
  • 5μm 까지 광범위한 고수율 시료 준비

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Meridian IV System

  • 고감도 확장된 파장 DBX 광자 방출 검출
  • 표준 InGaAs 광자 방출 검출
  • 다중 파장 옵션이 있는 레이저 주사 현미경

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Centrios Circuit Edit System

  • 뛰어난 이미지/밀링 분해능
  • 향상된 밀링 정밀도 및 제어
  • Thermo Scientific Helios DualBeam 플랫폼 상에 구축

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Centrios HX Circuit Edit System

  • 최신 FIB 기술을 사용한 고급 반도체 노드의 첨단 회로 편집
  • 낮은 랜딩 에너지로 뛰어난 밀링 정밀도와 제어를 통해 민감한 회로 보존
  • 고급 탐색 및 이온 빔 배치 정확도

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MK.4TE ESD and Latch-Up Test System

  • 신속한 릴레이 기반 작업 - 최대 2304 채널
  • 6개의 분리된 벡터 드라이브 레벨을 사용한 고급 기기 preconditioning
  • 완전한 규정준수 Latch-Up 자극 및 기기 바이어싱

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Orion3 Electrostatic Discharge Tester

  • 충전된 장치 모델 테스트
  • 듀얼 고분해능 컬러 카메라
  • 0.4mm pitch 미만으로 밀도 테스트

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Celestron Test System

  • 웨이퍼 및 패키지 레벨 TLP 테스트
  • 고전류 TLP 펄스 생성기
  • 반자동 prober와 인터페이스 가능
  • 제어와 보고서 생성을 위한 직관적인 소프트웨어

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Pegasus ESD Test System

  • 최신 산업 표준에 준하는 테스트
  • 진정한 시스템 수준 ESD 150pF/330Ω 네트워크
  • 모든 장치에 웨이퍼 프로브를 통한 2핀 연결

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Nexsa

  • 미세 초점 X-선 소스
  • 고유한 다중기법 옵션
  • 단일 원자 & 클러스터 이온 깊이 프로파일링을 위한 듀얼 모드 이온 소스

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K-Alpha

  • 고분해능 XPS
  • 빠르고 효율적이며 자동화된 워크플로우
  • 깊이 프로파일링을 위한 이온 소스

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ESCALAB QXi XPS

  • 높은 스펙트럼 분해능
  • 다중 기법 표면 분석
  • 광범위한 시료 준비 및 확장 옵션

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Vitrobot System

  • 완전 자동화된 시료 유리화(vitrification)
  • 블로팅(blotting) 장비
  • 반자동 그리드(semi-automated grid) 이동
  • 높은 시료 처리량

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Amira Software

  • 다중 데이터/뷰/채널 지원
  • 상호작용식 고품질 시각화
  • 머신 러닝 기반 세분화
  • 직관적인 레시피 생성

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Athena Software

  • 이미지, 데이터, 메타데이터 및 실험 워크플로우의 추적성 보장
  • 이미징 워크플로우 간소화
  • 협업 개선
  • 데이터 액세스 보안 및 관리

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Auto Slice & View 5 소프트웨어

  • DualBeam을 위한 자동 연속 절편
  • 다중 모드 데이터 수집(SEM, EDS, EBSD)
  • 즉각적인 편집 기능
  • 모서리 기반 컷 배치

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AutoScript 4 Software

  • 개선된 재현성 및 정확도
  • 무인 작동, 고처리량 이미징 및 패터닝
  • Python 3.5 기반 스크립팅 환경에 의한 지원

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Autoscript TEM 소프트웨어

  • 연구 요구사항과 현미경 자동화 사이의 직접 연결 제공
  • 재현성 및 정확성 향상 가능
  • 처리량 향상을 위해 현미경에 시간을 집중

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AutoTEM 5 Software

  • 완전 자동 in situ S/TEM 시료 준비
  • top-down, planar, inverted geometry 지원
  • 고도로 구성 가능한 워크플로우
  • 사용이 쉽고 직관적인 사용자 인터페이스

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Avizo Software

  • multi-data/multi-view, multi-channel, time series, 대량 데이터 지원
  • 고급 다중 모드 2D/3D 자동 등록
  • 아티팩트(artifact) 감소 알고리즘

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Smart EPU 소프트웨어

  • 단일 입자 획득을 위한 현미경 통합형 솔루션
  • 고처리량 입자 수집에 최적화되어 실시간 영상 분석 제공
  • 스케쥴링, 데이터 획득 및 결정 알고리즘을 위한 구성요소 포함

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Embedded CryoSPARC Live

  • 시료 품질 및 기기 설정에 대한 실시간 다차원적 피드백
  • 실시간 정보를 기반으로 영상화 및 프로세싱 조정
  • Smart EPU 소프트웨어와 완전히 통합됨

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EPU 2 Software

  • 단일 입자 획득을 위한 현미경 통합형 솔루션
  • 고처리량 입자 수집에 최적화
  • 필름, CCD 카메라 및 직접 전자 검출기와 호환 가능

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iFast Software

  • 더욱 빠른 레시피 생성을 위한 매크로 레코더
  • 무인 야간 작업을 위한 러너
  • 정렬 도구: 이미지 인식 및 모서리 찾기

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Inspect 3D Software

  • 교차-상관관계를 위한 이미지 처리 도구 및 필터
  • 이미지 정렬을 위한 형상 추적
  • 반복 투영 비교를 위한 대수적 재구성 기술

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Maps Software

  • 넓은 영역에서 고해상도 이미지 획득
  • 관심 영역을 쉽게 발견
  • 자동 이미지 획득 절차

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NEXS Software

  • NEXS와 회로 편집 시스템 간의 위치/배율을 자동으로 동기화하여 보다 원활한 사용자 환경 제공
  • EFA, PFA 및 회로 편집 공간에 사용되는 대부분의 Thermo Scientific 도구에 연결

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Pergeos Software
Rocks and Minerals

  • 암석 영상 데이터의 시각화, 처리 및 분석
  • 기공(Pore)에서 핵(Core)까지 멀티 스케일 이미징 분석 수행
  • 지질학적 및 암석물리학적 특성 계산

 리소스 보기

Tomography 5 Software

  • 자동화된 multi-site batch 단층촬영
  • 자동 카세트 맵핑
  • 최적의 전자 선량을 위한 선량 대칭 기울기 체계
  • Selectris 이미징 필터와 완벽하게 통합

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Velox Software

  • 처리 창 왼쪽에 있는 실험 패널
  • 실시간 정량 맵핑
  • 재현가능한 실험 제어 및 설정을 위한 상호작용식 검출기 레이아웃 인터페이스

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3D Reconstruction

  • 직관적인 사용자 인터페이스, 최대 채택 능력
  • 직관적이고 완전 자동화된 사용자 인터페이스
  • 'shape from shading' 기술에 기초하고 있으며, 스테이지 경사 불필요

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원소 맵핑

  • 시료 또는 선택한 라인 내의 원소 분포에 대한 신속하고 신뢰할 수 있는 정보
  • 결과의 용이한 내보내기 및 보고

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FiberMetric

  • 자동 측정을 통한 시간 절약
  • 모든 통계 데이터의 빠르고 자동화된 수집
  • 타의 추종을 불허하는 정확도로 마이크로 및 나노 섬유를 확인 및 측정

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Nanobuilder

  • CAD 기반 프로토타이핑
  • 완전 자동화된 작업 실행, 스테이지 탐색, 밀링 및 증착
  • 자동 정렬 및 드리프트 제어

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ParticleMetric

  • 온라인 및 오프라인 분석용으로 통합된 소프트웨어
  • 지름, 원형도, 종횡비, 볼록성 등 입자 특성 상관관계화
  • 자동 이미지 맵핑으로 영상 데이터 생성

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Phenom Programming Interface

  • 워크플로우에 맞게 SEM 맞춤화
  • 자동화 처리를 통해 효율성 향상 및 시간 절약
  • 이미징 설정 및 스테이지 탐색 제어

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PoroMetric

  • 면적, 종횡비, 중심 축 및 보조 축과 같은 기공 특성 상관관계
  • 데스크탑 SEM에서 직접적인 영상 획득
  • 고품질 영상에 의한 통계 데이터

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ProSuite

  • 이미지 자동 수집
  • 실시간 원격 제어
  • 표준 애플리케이션 포함: 자동 이미지 맵핑 + 원격 사용자 인터페이스

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Quartz PCI/CFR

  • 21 CFR Part 11 준수를 위한 SEM 이미징 추적성
  • Phenom XL 및 Phenom Pro 데스크탑 SEM과 함께 사용 가능
  • Windows 10 64 비트 운영 체제 지원

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μHeater

  • in situ 고분해능 이미징을 위한 초고속 가열 솔루션
  • 완전 통합형
  • 최대 1200°C의 온도

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μPolisher

  • 다수의 새로운 미개척 애플리케이션을 지원할 수 있는 잠재력
  • 매우 낮은 에너지 밀링
  • 정밀한 국소 표면 처리를 위한 작은 스폿(spot) 크기

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Selectris and Selectris X Imaging Filters

  • 높은 안정성 및 원자 분해능 이미징을 위한 설계
  • 간편한 조작
  • 최신 Thermo Scientific Falcon 4 Direct Electron Detector와 함께 사용

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Ceta D Camera

  • 고전압(20 ~ 300kV)에서 최적화된 성능
  • 컬럼후(post-column) 필터 및 분광기와 함께 사용 가능
  • 동적 연구를 위한 동영상 획득

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Falcon 4i Detector

  • 높은 처리량으로 시간당 더 많은 이미지를 처리
  • DQE가 높아 탁월한 이미징 품질 제공
  • EER을 사용한 손실없는 데이터 압축

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Charge Reduction Sample Holder

  • 최대 8배까지 고배율 확대
  • 더욱 빠른 시료 준비 시간
  • 비전도성 검체를 자연 상태로 이미징 가능

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Electrical Feedthrough Sample Holder

  • in situ 측정을 위해 시료에 전기 프로브 연결
  • 0 ~ 25mm 범위로 시료의 높이를 수동으로 조정 가능
  • 프로브(probe) 전류 측정

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Eucentric Sample Holder

  • 데스크탑 SEM 상의 유센트릭(eucentric) 경사 및 컴퓨센트릭(compucentric) 회전
  • 시료 로딩 시간이 < 1분으로 이미지를 얻기까지의 시간이 빠름
  • 실시간 3D 시료 시각화 모듈

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Filter Inserts

  • 필터 잔류물 분석 및 석면 분석
  • 47mm (1.85인치) 및 25mm (1인치) 필터를 지원하는 두 가지 모델
  • Phenom 데스크탑 SEM에서 사용

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Metallurgical Sample Holder

  • 레진 마운트 시료를 지원하도록 설계
  • 금속 가공 및 인서트를 사용한 작업 시 선호되는 솔루션
  • 최대 32mm 직경 및 30mm 높이까지의 시료 크기

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Micro Tool Sample Holder

  • 신속하고 빠른 클램핑(clamping)
  • 기울기 및 회전에 의해 시료의 배치 용이
  • 시료 로딩을 위한 별도의 도구 불필요

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Motorized Tilt & Rotation Sample Holder

  • 경사 범위 -10° ~ +45°
  • 연속 360° 콤퓨센트릭(compucentric) 회전
  • 전용의 Motion Control ProSuite 애플리케이션으로 제어

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Nebula Particle Disperser

  • 균일한 건조 분말 분산을 위한 표준 방법
  • 입자 클러스터 방지
  • Phenom 데스크탑 SEM과 함께 사용

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Resin Mount Inserts

  • 고유한 시료 홀더 컨셉
  • 25mm(~1인치), 32mm(~1¼ 인치) 및 40mm(~1½인치) 직경의 표준 크기 샘플을 지원하기 위해 3개 모델로 제공

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Standard Sample Holder

  • 소형 스테이지로 최대 100mm x 100mm의 시료 분석 가능
  • 3개 유형의 레진 또는 금속 마운트 인서트를 사용하여 확장 가능
  • Phenom 데스크탑 SEM과 함께 사용

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Sample Holder Inserts

  • 코팅 및 다층 시료의 절단면 이미징을 더욱 빠르게 수행
  • 나사 또는 추가 도구 없이 쉽게 클램핑(clamping)
  • 시료 클램핑를 위한 나사와 도구 불필요

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Tensile Sample Holder

  • 배치(batch) 품질 측정
  • 제조 일관성 측정
  • 설계 프로세스 지원

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Temperature Controlled Sample Holder

  • 온도 범위 -25°C ~ +50°C
  • 온도 정확도 ±1.5°C
  • 온도 표시 분해능 0.1°C

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