3D 전자 현미경 검사

새로운 물질을 연구하거나 오류의 근본 원인을 찾으려 시도할 때, 점점 더 작은 기능으로 점점 더 복잡해지는 시료에 대한 고도로 국소적인 특성 분석이 점점 더 중요해지고 있습니다. 실제로 시료의 물질 속성을 완전히 이해하려면 종종 표면 아래 또는 3차원 특성 분석이 필요합니다. 이는 특히 이종 물질 또는 함유물, 그리고 침전물의 검출 및 특성 분석에 유용할 수 있습니다. DualBeam(집속 이온 빔 - 주사전자현미경 검사, FIB-SEM) 기기는 연속 절편(SEM 이미징 및 FIB 밀링의 순차적 적용)을 통해 나노미터 분해능으로 고품질 3D 데이터 세트를 획득할 수 있습니다.

플라즈마 FIB(PFIB)

큰 시료가 제공하는 추가적인 컨텍스트 정보에 기인하는, 대표적으로 그리고 통계적으로 관련있는 결과를 얻기 위해, 종종 기존의 갈륨 FIB 기기로는 액세스할 수 없는 큰 부피가 필요합니다. Thermo Scientific Helios 5 PFIB DualBeam 및 Thermo Scientific Helios Hydra DualBeam과 같은 플라즈마 FIB 기기는 다양한 모드에서 완전 자동화된 고품질 대용량 3D 데이터세트를 지원하는 탁월한 고전류 성능을 제공합니다. 또한 Helios Hydra DualBeam의 다중 이온 소스 기술을 통해 각 특정 시료 및 사용 사례에 있어 최고의 이온 소스를 선택할 수 있습니다.

플라즈마 FIB 연속 절단법은 물질 대비(후방 산란 전자 이미징), 조성 정보(에너지 분산 분광학), 미세 구조 및 결정학적 정보(전자 후방 산란 회절)에 대한 정보를 제공합니다. 이후 이 데이터를 최고 분해능, 고급 3D 특성 분석 및 나노미터 단위 분석을 위한 고유한 워크플로우 솔루션을 제공하는 Thermo Scientific Avizo Software로 시각화할 수 있습니다.

레이저 PFIB

Thermo Scientific Helios 5 Laser PFIB System은 일반 플라즈마 FIB를 넘어서 최대 밀리미터 단위까지 더 큰 부피의 교차 절단 및 3D 특성 분석을 수행합니다(갈륨 FIB에 비해 >15,000x 더 빠르게 거친 물질 제거). 또한 충전 및 빔에 민감한 재료와 같이 이온 빔 밀링에 있어 전형적으로 까다로운 물질의 손상을 최소화하면서 처리할 수 있습니다.