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에너지 분산 X선 분광법(EDS)과 같은 일반적인 기술을 사용하여 리튬과 같은 경원소의 분석적 특성을 분석하기란 매우 어려우며 불가능에 가깝습니다. 이는 원소 농도가 매우 낮은 시료에 대한 고분해능 물질 분석에서도 마찬가지입니다. SIMS(이차 이온 질량 분광법) 검출기는 많은 산업 및 연구 응용 분야에서 고감도 표면 분석을 가능하게 합니다. 이 기술은 시료에 대한 상세한 원소 정보 및 동위원소 정보를 제공하며 심층 프로파일링 분석이 가능합니다.

SEM image of a lithium battery cathode cross-section (left) and corresponding SIMS map showing the lithium distribution (right).
리튬 배터리 음극 단면(왼쪽)의 SEM 이미지 및 리튬 분포(오른쪽)를 보여주는 해당 SIMS 맵.

FIB 밀링 과정에서 이온화된 입자가 생성되기 때문에 DualBeam(FIB-SEM) 도구에서 이차 이온 질량 분광법(SIMS)이 가능합니다. 이러한 입자는 매우 얕은 깊이에서 나오기 때문에 표면 분석 기술로 간주됩니다. 오늘날의 SIMS 검출기는 크기가 작아 주기율표의 모든 원소 및 다양한 동위원소를 측정하는 데 적합합니다. FIB-SEM 기기에서 추가된 SIMS 분석의 주요 이점은 다음과 같습니다.

  • 저탄소강과 같이 까다로운 시료에 포함된 수소, 리튬, 붕소, 탄소 등의 경원소를 비롯한 주기율표의 모든 원소를 검출 및 매핑합니다.
  • 3D 분석 특성 분석에 필수적인 탁월한 깊이 및 측면 해상도
  • ppm(parts-per-million) 수준에서 농도를 검출할 수 있는 고감도 원소 분석
  • 높은 질량 분해능
  • 표면 조성 정보
  • 모든 동위원소의 분리 및 분석 및 공간 분포의 분석적 특성 분석

리소스

주문형 웨비나: DualBeam 시스템의 SIMS 개요 및 응용 분야

녹화된 웨비나를 통해 DualBeam 시스템에서 TOF-SIMS 검출기의 통합에 대해 자세히 알아보고 Ga + FIB 또는 다중 이온 종 플라즈마 FIB(Xe+, Ar+, O+)를 사용한 재료 과학 연구 응용 분야를 확인해 보십시오.

웨비나 시청

 

주문형 웨비나: DualBeam 시스템의 SIMS 개요 및 응용 분야

녹화된 웨비나를 통해 DualBeam 시스템에서 TOF-SIMS 검출기의 통합에 대해 자세히 알아보고 Ga + FIB 또는 다중 이온 종 플라즈마 FIB(Xe+, Ar+, O+)를 사용한 재료 과학 연구 응용 분야를 확인해 보십시오.

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응용분야

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

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기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 


시료


배터리 연구

배터리 개발은 microCT, SEM 및 TEM, Raman 분광법, XPS 및 디지털 3D 시각화 및 분석을 통한 멀티 스케일(multi-scale) 분석에 의해 이루어질 수 있습니다. 이 접근 방식이 더 나은 배터리를 만드는 데 필요한 구조 및 화학 정보를 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

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금속 연구

금속을 효과적으로 생산하려면 함유물 및 침전물에 대한 정밀한 제어가 필요합니다. 당사의 자동화 도구를 사용하여 나노 입자 계수, EDS 화학 물질 분석 및 TEM 시료 준비 등 금속 분석에 필수적인 다양한 작업을 수행할 수 있습니다.

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고분자 연구

고분자 미세 구조는 물질의 벌크 특성 및 성능과 관련이 있습니다. 전자현미경법은 R&D 및 품질 관리 응용 분야의 고분자 형태학 및 구성에 대한 종합적인 마이크로 단위 분석을 가능케 합니다.

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지질학 연구

지구과학은 암석 시료 내 특징을 일정하고 정확하게 멀티 스케일(multi-scale)로 관찰합니다. SEM-EDS는 자동화 소프트웨어와 결합하여 암석학 및 광물학 연구를 위한 텍스처 및 광물 구성의 직접적인 대규모 분석을 가능하게 합니다.

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오일 및 가스

오일 및 가스에 대한 수요가 지속됨에 따라, 탄화수소를 효율적이고 효과적으로 추출해야 할 필요성이 계속해서 증가하고 있습니다. Thermo Fisher Scientific은 다양한 석유 과학 응용 분야를 위한 다양한 현미경법 및 분광학 솔루션을 제공합니다.

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나노입자

재료는 큰 규모 단위보다 나노 단위에서 근본적으로 다른 특성을 드러냅니다. 이를 연구하기 위해, S/TEM 기기를 에너지 분산형 X선 분광법과 결합하여 나노미터 미만의 분해능 데이터를 얻을 수 있습니다.

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촉매 연구

촉매는 대부분의 현대적인 산업 공정에 있어 대단히 중요합니다. 그 효율은 촉매 입자의 미세 조성 및 형태학에 따라 달라집니다. EDS와 EM은 이러한 속성 연구에 매우 적합합니다.

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제품

기기 카드 원본 스타일시트

Helios Hydra DualBeam

  • 가장 광범위한 물질에 대한 최적화된 PFIB 처리를 위한 고속 전환가능한 4개의 이온 종(XE, AR, O, N)
  • Ga 없이 TEM 시료 준비
  • 초고분해능 SEM 이미징

Helios 5 DualBeam

  • 완전 자동 고품질 초박형 TEM 시료 준비
  • 높은 처리량의 고분해능 표면 및 3D 특성 분석
  • 고속 나노 프로토타입 제작 기능

Helios 5 PFIB DualBeam

  • 갈륨 없이 STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보
  • 차세대 2.5 μA 제논 플라즈마 FIB 컬럼

Scios 2 DualBeam

  • 자성 및 비전도성 시료에 대한 완벽한 지원
  • 높은 처리량의 표면 하부 및 3D 특성 분석
  • 향상된 사용 편의성 및 자동화 기능
Style Sheet for Komodo Tabs

em-h2-헤더 등급으로 H2를 p로 변경하기 위한 스타일 시트

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재료 과학을 위한 전자 현미경
서비스

최적의 시스템 성능을 보장하기 위해 세계 수준의 현장 서비스 전문가 네트워크, 기술 지원 및 인증된 예비 부품을 제공해드립니다.