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반도체 및 소재 분석을 위한 종합 솔루션
전기적/물리적 분석을 통한 Failure Analysis(불량분석)의 workflow를 통해 반도체 제조 공정에서의 수율 향상을 할 수 있는 근본적 불량 분석 뿐만 아니라 제조 공정 중 사용되는 많은 고순도 특수가스 및 첨단 유기 소재의 순도와 이물관리, 공정 중 발생하는 다양한 원인불명의 성분까지도 정량, 정성 분석할 수 있는 분석 솔루션을 제공합니다.
반도체가 작고 복잡해질 수록 새로운 설계와 구조를 필요로 하게 됩니다. Thermo Fisher Scientific 의 SEM, TEM, S/TEM, DualBeam FIB/SEM이 제공하는 고생산성의 3D 분석 워크플로우는 개발 시간을 단축하고 수율을 극대화하여 산업의 향후 요구 사항에 부합하는 최고의 분석 솔루션을 보장합니다. 상세보기 >
Circuit Edit
복잡한 반도체 회로 편집을 위해 특별히 설계되어 탁월한 편집 제어, 정밀도 및 안정성을 갖춘 최첨단 시스템입니다.
낮은 빔 전류와 랜딩 에너지에서 높은 분해능을 제공하여 회로 손상을 최소화하면서 정확하게 편집할 수 있게 합니다.
FIB Sample Prep
SEM 및 STEM 이미징, 자동화 된 TEM 및 Atom probe 시편 준비로 사용이 편리하고 간편합니다. 또한 3D 특성 분석 등 최첨단 기술을 탑재하고 있습니다.
Large Area FIB processing
Helios 5 PFIB DualBeam은 플라즈마 듀얼 집속 이온 빔으로 투과전자현미경 시료준비, 3D 특성 분석, 단면 절단 및 미세 가공을 수행합니다. 반도체 장치, 패키징 기술 및 디스플레이 장치 제조업체를 위해 손상 없는 넓은 영역 처리, 빠른 시료 준비 및 높은 정확도의 고장 분석 기능을 제공합니다.
Wafer DualBeam
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam은 반도체 산업에서 TEM 시료 준비의 어려움을 해결하 도록 설계된 300mm 베이스 웨이퍼 집속 이온 빔 주 사전자현미경(FIB-SEM)입니다.
Automated TEM
Thermo Scientific Metrios AX TEM은 빠르고 정확한 특성 분석 및 참조 계측을 제공하는 최초의 TEM 장비로, 반도체 제조업체가 수익성 있는 수율 증가를 가속화하기 위해 웨이퍼 제조 프로세스를 개발하고 조절할 때 사용됩니다.
반도체 기술이 단일 nm 노드 규모로 발전함에 따라 생산 공정에 사용되는 특수가스 및 화학물질의 순도와 정확도 에 대한 요구 사항이 더욱 중요해지고 있습니다. 특히 공정분석기술(PAT)은 가스와 화학물질이 생산 중이거나 반도체 제조 공정에 사용될 때 온라인 모니터링 상태를 제공하는 필수 솔루션입니다. 다양한 PAT 중에서 분광분석 솔루션 (FTIR, Raman)은 구조분석 및 화학적 변화와 유기 이물의 정성 분석에 특화되어 있는 기술입니다. 상세보기 >
DXR3xi Raman Imaging Microscope
라만 분광법은 시료의 분자를 식별할 수 있는 구조적 지문을 제공합니다. 라만 분광법은 circuits, display, sensor 위에 있는 유기물 또는 무기물(금속 화합물 등)의 성분을 확인할 수 있습니다. 또한 nm 수준의 공간분해능으로 silicon 제품 및 재료에 대한 stress분포를 chemical image로 확인할 수 있습니다.
Nicolet™ iS50 FTIR Spectrometer
Semiconductor wafer 소재에 대한 연구를 개발하는 과정에서 FT-IR은 wafer위 증착 된 물질에 대한 chemical bond 및 function group에 대한 특정 정보를 제공합니다. 또한 FT-IR로 공정 중 발생하는 가스 및 재료불량에 대한 원인을 파악하기 위해 TGA-IR분석을 진행합니다.
Nicolet™ iN10MX Infrared Imaging
FTIR Microscope은 비 접촉 반사를 활용하여 공정 중에 발생하는 수마이크로 사이즈의 이물 및 defect에 대한 성분 분석이 가능합니다. 또한 유기물 재료분포에 대해서 빠른 mapping 분석이 가능합니다.
반도체 제조 공정에 있어 필수적인 순도 및 불량 제어의 종합 솔루션을 갖춘 써모 피셔 사이언티픽 크로마토그래피 & 질량분석기 사업부는 유·무기 화학 분석에 필요한 ICP-MS, IC, LC-MS, GC-MS 및 오랜 경험을 쌓아온 HRMS는 물론, 자동 전처리 모듈 라인업을 구축함으로써 업계 최고 수준의 분석 기술을 제공하고 있습니다. 상세보기 >
iCAP™ TQs ICP-MS
사용자 친화적인 인터페이스로 반도체, 화학, 식품, 환경 등 다양한 응용분야에서 정확한 미량 원소 정량분석 결과를 제공하는 고성능 ICP-MS 솔루션입니다.
Element™ 2 HR-ICP-MS
반도체, 초순수, 환경, 지질 시료 중의 무기원소를 ppt 이하의 농도까지 정확하게 정성·정량 분석하는 Magnetic Sector 방식의 고분해능 질량 분석 장비입니다. 장비의 사용과 유지 관리가 수월하며, 특히 복잡한 매질의 반도체 시료에 있어서 toxic gas를 통한 간섭제거 기술을 사용하지 않더라도 정확한 분석 결과를 얻을 수 있습니다.
Dionex™ ICS-6000 HPIC™ System
초순수, 유기 용매에서의 무기 음이온 측정, 약산(weak acid)에서의 미량 양이온 측정 등 정량 분석에 매우 이상적인 솔루션이자, 세계 최초 모듈식 음·양이온 분석 시스템으로 스탠다드보어, 마이크로보어, 캐필러리 및 하이브리드 구성으로 제공됩니다. 또한, 동급 최고의 분해능, 속도 및 감도와 IC x IC 기능을 사용할 수 있습니다.
ISQ™ 7610 Single Quadrupole GC-MS
GC-MS는 반도체 공정에서 주로 웨이퍼, 공기 중 휘발성 유기화합물과 유기용제를 분석하는 데 활용되며, 유기성분의 정성·정량분석에 탁월한 결과를 제공합니다. 매우 까다로운 분석적 요구도 수행할 수 있을 정도로 감도가 뛰어나며 가동 시간의 중단이 없이 지속적인 분석이 가능합니다.
Orbitrap™ Exploris™ GC HRMS
뛰어난 분해능, 질량 정확도와 감도를 제공하여 미지물질 분석까지 가능한 Orbitrap™ 기술로 화합물의 검출, 확인 및 정량에서 가장 신뢰성 있는 데이터를 얻을 수 있습니다.
Orbitrap™ Exploris™ LC HRMS
화학산업, 임상 연구, 환경 및 식품 안전, 법독성학 및 제약 분석 등 다양한 응용 분야에 이미 성능이 입증된 Thermo Scientific Orbitrap™ 기술은 분석법 개발 및 일상적인 테스트, 복잡한 분석 모두에 대해 신뢰성 있는 정량 및 정성 분석 프로세스를 가속화합니다.
오늘날의 반도체 산업에서 가스 불순물은 디바이스 성능 저하, 생산 지연 및 품질에 영향을 주는 중요한 요소 중 하나입니다. 당사의 가스 분석기를 사용하면 다른 기술보다 더 정확한 분석과 낮은 검출 한계로 지속적이고 안적정인 UHP 가스의 불순물 모니터링이 가능합니다. 상세보기 >
Ultra-High Purity Gas Analyzer
Thermo Scientific APIX δQ 분석기는 반도체 내 UHP 가스의 지속적인 품질관리를 위한 선택입니다. API-MS의 우수한 성능, 최첨단 전자 장치와 강력한 프로세스 분석 소프트웨어는 기존의 품질 관리 기술에 대한 비용 절감과 효율적인 대안을 제공하여 각 UHP 가스(N2, H2, Ar, He) 에서 다양한 잠재적 오염 물질을 모니터링할 수 있도록 하며, 동시에 다른 기술보다 낮은 측정 한계(최대 100배 이상)를 달성합니다.
Air Monitoring Equipment Systems
Thermo Scientific™ iQ Series는 주변 및 소스 가스 분석을 위한 스마트 환경 모니터링 솔루션으로, 계측기 성능과 데이터 가용성을 더욱 효과적으로 제어합니다. 대기 질 관리 규정에 따라 반도체 FAB안에서의 오존과 질소산화물 등 공기중의 구성성분 확인 및 실내 공기 질 확인이 가능합니다.
MAX-iR FTIR Gas Analyzers
FTIR Gas Analyzer는 가스 모니터링에 최적화 된 공정용 19 inch rack type 가스 전용 FT-IR 입니다. 반도체 특수 가스 및 일반 산업가스 품질관리를 위해 최적의 솔루션을 제공합니다. 공정용 배치타입 분석, 가스 순도 관리, 수분을 포함한 불순물의 실시간 모니터링에 특화되어 있습니다
반도체가 작고 복잡해질 수록 새로운 설계와 구조를 필요로 하게 됩니다. Thermo Fisher Scientific 의 SEM, TEM, S/TEM, DualBeam FIB/SEM이 제공하는 고생산성의 3D 분석 워크플로우는 개발 시간을 단축하고 수율을 극대화하여 산업의 향후 요구 사항에 부합하는 최고의 분석 솔루션을 보장합니다. 상세보기 >
Circuit Edit
복잡한 반도체 회로 편집을 위해 특별히 설계되어 탁월한 편집 제어, 정밀도 및 안정성을 갖춘 최첨단 시스템입니다.
낮은 빔 전류와 랜딩 에너지에서 높은 분해능을 제공하여 회로 손상을 최소화하면서 정확하게 편집할 수 있게 합니다.
FIB Sample Prep
SEM 및 STEM 이미징, 자동화 된 TEM 및 Atom probe 시편 준비로 사용이 편리하고 간편합니다. 또한 3D 특성 분석 등 최첨단 기술을 탑재하고 있습니다.
Large Area FIB processing
Helios 5 PFIB DualBeam은 플라즈마 듀얼 집속 이온 빔으로 투과전자현미경 시료준비, 3D 특성 분석, 단면 절단 및 미세 가공을 수행합니다. 반도체 장치, 패키징 기술 및 디스플레이 장치 제조업체를 위해 손상 없는 넓은 영역 처리, 빠른 시료 준비 및 높은 정확도의 고장 분석 기능을 제공합니다.
Wafer DualBeam
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam은 반도체 산업에서 TEM 시료 준비의 어려움을 해결하 도록 설계된 300mm 베이스 웨이퍼 집속 이온 빔 주 사전자현미경(FIB-SEM)입니다.
Automated TEM
Thermo Scientific Metrios AX TEM은 빠르고 정확한 특성 분석 및 참조 계측을 제공하는 최초의 TEM 장비로, 반도체 제조업체가 수익성 있는 수율 증가를 가속화하기 위해 웨이퍼 제조 프로세스를 개발하고 조절할 때 사용됩니다.
반도체 기술이 단일 nm 노드 규모로 발전함에 따라 생산 공정에 사용되는 특수가스 및 화학물질의 순도와 정확도 에 대한 요구 사항이 더욱 중요해지고 있습니다. 특히 공정분석기술(PAT)은 가스와 화학물질이 생산 중이거나 반도체 제조 공정에 사용될 때 온라인 모니터링 상태를 제공하는 필수 솔루션입니다. 다양한 PAT 중에서 분광분석 솔루션 (FTIR, Raman)은 구조분석 및 화학적 변화와 유기 이물의 정성 분석에 특화되어 있는 기술입니다. 상세보기 >
DXR3xi Raman Imaging Microscope
라만 분광법은 시료의 분자를 식별할 수 있는 구조적 지문을 제공합니다. 라만 분광법은 circuits, display, sensor 위에 있는 유기물 또는 무기물(금속 화합물 등)의 성분을 확인할 수 있습니다. 또한 nm 수준의 공간분해능으로 silicon 제품 및 재료에 대한 stress분포를 chemical image로 확인할 수 있습니다.
Nicolet™ iS50 FTIR Spectrometer
Semiconductor wafer 소재에 대한 연구를 개발하는 과정에서 FT-IR은 wafer위 증착 된 물질에 대한 chemical bond 및 function group에 대한 특정 정보를 제공합니다. 또한 FT-IR로 공정 중 발생하는 가스 및 재료불량에 대한 원인을 파악하기 위해 TGA-IR분석을 진행합니다.
Nicolet™ iN10MX Infrared Imaging
FTIR Microscope은 비 접촉 반사를 활용하여 공정 중에 발생하는 수마이크로 사이즈의 이물 및 defect에 대한 성분 분석이 가능합니다. 또한 유기물 재료분포에 대해서 빠른 mapping 분석이 가능합니다.
반도체 제조 공정에 있어 필수적인 순도 및 불량 제어의 종합 솔루션을 갖춘 써모 피셔 사이언티픽 크로마토그래피 & 질량분석기 사업부는 유·무기 화학 분석에 필요한 ICP-MS, IC, LC-MS, GC-MS 및 오랜 경험을 쌓아온 HRMS는 물론, 자동 전처리 모듈 라인업을 구축함으로써 업계 최고 수준의 분석 기술을 제공하고 있습니다. 상세보기 >
iCAP™ TQs ICP-MS
사용자 친화적인 인터페이스로 반도체, 화학, 식품, 환경 등 다양한 응용분야에서 정확한 미량 원소 정량분석 결과를 제공하는 고성능 ICP-MS 솔루션입니다.
Element™ 2 HR-ICP-MS
반도체, 초순수, 환경, 지질 시료 중의 무기원소를 ppt 이하의 농도까지 정확하게 정성·정량 분석하는 Magnetic Sector 방식의 고분해능 질량 분석 장비입니다. 장비의 사용과 유지 관리가 수월하며, 특히 복잡한 매질의 반도체 시료에 있어서 toxic gas를 통한 간섭제거 기술을 사용하지 않더라도 정확한 분석 결과를 얻을 수 있습니다.
Dionex™ ICS-6000 HPIC™ System
초순수, 유기 용매에서의 무기 음이온 측정, 약산(weak acid)에서의 미량 양이온 측정 등 정량 분석에 매우 이상적인 솔루션이자, 세계 최초 모듈식 음·양이온 분석 시스템으로 스탠다드보어, 마이크로보어, 캐필러리 및 하이브리드 구성으로 제공됩니다. 또한, 동급 최고의 분해능, 속도 및 감도와 IC x IC 기능을 사용할 수 있습니다.
ISQ™ 7610 Single Quadrupole GC-MS
GC-MS는 반도체 공정에서 주로 웨이퍼, 공기 중 휘발성 유기화합물과 유기용제를 분석하는 데 활용되며, 유기성분의 정성·정량분석에 탁월한 결과를 제공합니다. 매우 까다로운 분석적 요구도 수행할 수 있을 정도로 감도가 뛰어나며 가동 시간의 중단이 없이 지속적인 분석이 가능합니다.
Orbitrap™ Exploris™ GC HRMS
뛰어난 분해능, 질량 정확도와 감도를 제공하여 미지물질 분석까지 가능한 Orbitrap™ 기술로 화합물의 검출, 확인 및 정량에서 가장 신뢰성 있는 데이터를 얻을 수 있습니다.
Orbitrap™ Exploris™ LC HRMS
화학산업, 임상 연구, 환경 및 식품 안전, 법독성학 및 제약 분석 등 다양한 응용 분야에 이미 성능이 입증된 Thermo Scientific Orbitrap™ 기술은 분석법 개발 및 일상적인 테스트, 복잡한 분석 모두에 대해 신뢰성 있는 정량 및 정성 분석 프로세스를 가속화합니다.
오늘날의 반도체 산업에서 가스 불순물은 디바이스 성능 저하, 생산 지연 및 품질에 영향을 주는 중요한 요소 중 하나입니다. 당사의 가스 분석기를 사용하면 다른 기술보다 더 정확한 분석과 낮은 검출 한계로 지속적이고 안적정인 UHP 가스의 불순물 모니터링이 가능합니다. 상세보기 >
Ultra-High Purity Gas Analyzer
Thermo Scientific APIX δQ 분석기는 반도체 내 UHP 가스의 지속적인 품질관리를 위한 선택입니다. API-MS의 우수한 성능, 최첨단 전자 장치와 강력한 프로세스 분석 소프트웨어는 기존의 품질 관리 기술에 대한 비용 절감과 효율적인 대안을 제공하여 각 UHP 가스(N2, H2, Ar, He) 에서 다양한 잠재적 오염 물질을 모니터링할 수 있도록 하며, 동시에 다른 기술보다 낮은 측정 한계(최대 100배 이상)를 달성합니다.
Air Monitoring Equipment Systems
Thermo Scientific™ iQ Series는 주변 및 소스 가스 분석을 위한 스마트 환경 모니터링 솔루션으로, 계측기 성능과 데이터 가용성을 더욱 효과적으로 제어합니다. 대기 질 관리 규정에 따라 반도체 FAB안에서의 오존과 질소산화물 등 공기중의 구성성분 확인 및 실내 공기 질 확인이 가능합니다.
MAX-iR FTIR Gas Analyzers
FTIR Gas Analyzer는 가스 모니터링에 최적화 된 공정용 19 inch rack type 가스 전용 FT-IR 입니다. 반도체 특수 가스 및 일반 산업가스 품질관리를 위해 최적의 솔루션을 제공합니다. 공정용 배치타입 분석, 가스 순도 관리, 수분을 포함한 불순물의 실시간 모니터링에 특화되어 있습니다
Style Sheet for Global Design System